通常の顕微鏡と異なり、共焦点顕微鏡は試料を極めて小さいスポットで照明します。画像を構成するには、スポットをスキャンする必要があります。スポットの像は中間画像面のピンホールストップを通って導かれます。そのため焦点面の光だけが検出器（光電子増倍管）に到達でき、焦点面以外の光は排除されます。その結果、光学切片ができることになります。デジタル像として保存され、モニターに表示されます。サンプルの３次元構造を取得するには、試料ステージをＺ軸方向にわずかに動かしつつ、像を記録していきます。Z軸方向の切片シリーズがあれば、適当なコンピュータープログラムを使って３D構造が再構築可能になります。この方式は、ただし落射光式に限りますが、とりわけ生物学での蛍光検鏡に革命をもたらしました。
共焦点スキャンモジュールは接眼レンズに共焦点像を結ばせるのに用います。そして反射光で得られる試料の高さ情報を、カラーコンバーティングシステムでカラーコード化します。この機能を使って、ウェファーの微小な欠陥や汚れを迅速かつ高信頼度で検出できます。 |