セミコン関連
原理
マスクエバリュエーション
マスクリペア
ヘリウムイオン顕微鏡(English)
半導体検査機器
- Faster and more reliable, more powerful, but more economical -

これらは、半導体産業がある限り、その製造・検査装置に常に求められる要求ではないでしょうか。私達の光学システムは、40年以上にもわたり、半導体チップの製造のコア・プロセスを担い、世界の半導体産業に高性能チップ・デザインと低コスト化に不可欠なスループット向上の道を拓きました。

カールツァイスSMT AGは、世界の半導体産業を支える幅広い製品とソリューションを提供しています。主な製品は、ASMLの露光機用のオプティックス、ExitechのMETのオプティクスも同様にカールツァイスのものです。

さらに、私達は最先端のフォトマスク評価システム、マスクリペア・システムそして不良解析システムを提供しています。私達の製品ポートフォリオはAerial Image MeasurementSystem: AIMS、電子ビームによるマスクリペア・システム: MeRiT MGそして不良解析システムです。