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ZEISS XENOS

The Reference

ZEISSXENOSは、研究機関、航空宇宙産業、光学機器産業における測定室などの最高の精度が求められる場所でよりどころとなる機械です。このハイエンドな機械は、技術的に実現可能な最高の精度を1立方メートルの測定範囲で提供します。

ZEISS XENOS

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ZEISS XENOS

最大許容長さ測定誤差 E0

0.3 + L/1,000 μm

測定範囲

 XY
Z
9/15/79001,500700

革新的な機械設計

ZEISS XENOSの特徴は、ZEISS CenterMaxでの実績をベースにした新たな機械設計にあります。標準的な門移動形の設計とは異なり、移動軸すべてをクランプ領域から隔離する側壁の上部に、Y軸ガイドウェイが取り付けられています。クロスビームだけがY方向に移動するため、移動質量が少なくすみます。移動質量は常に一定になります。これが、テーブル移動形と比べたときのメリットです。軽量化と移動質量の一定化により、加速や最高速度の駆動を最適に調整できます。

すべての軸でリニア駆動を採用

ZEISS XENOSは、すべての軸でリニア駆動を採用しています。メリットとして、高速、急加速、高い位置決め精度、せん断力の生じない駆動などがあげられます。ZEISS XENOSの高分解能のスケールとリニア駆動の相乗効果が、移動経路の非常に高いトーレス性と、100ナノメートル未満という非常に高い位置決め性能を実現します。たとえば、スタイラスのたわみがより一定になるため、高い精度につながります。もう1つのメリットは曲面の測定時に実感できます。スタイラスが指定された移動経路をより確実に、より正確にをたどれば、より正確な誤差の定義が可能になります。

バーチャル・センター駆動

ZEISS XENOSは、Y軸にZEISSが開発した新技術のセンター駆動を介してシンクロされる、2つのリニア駆動を備えています。これにより、X軸の位置に応じて駆動力の分布が最適化されます。これは最新世代のコントローラとアルゴリズムの採用により実現され、測定範囲全域における最高の精度と、移動経路の最良のトレース性を実現するために欠かせない要素となっています。

炭化ケイ素セラミック

ZEISS XENOSは、精度に影響を及ぼす機械構造の部品に、革新的な炭化ケイ素セラミックを採用しています。現在、この素材が同等サイズの部品や精度で使用されているケースはほとんどありません。一般的に使用されている酸化アルミニウムセラミックと比べ、炭化ケイ素セラミックは熱膨張が50%小さく、剛性は最高で30%高く、20%程度軽量といった特徴があります。スチールと比べても、重量は半分程度で2倍の剛性を持っています。

最適化されたVAST gold

ZEISS XENOSは、ZEISSのVAST goldセンサを標準で搭載しています。ZEISS XENOSの開発に際して、この強力なセンサの最適化を進め、より高い精度と再現性を実現しました。また、ZEISS XENOSのラムへの取り付け方法も新しく、より強固になりました。VAST goldセンサは、最長800ミリメートル、最大500グラムまでのスタイラスを使用できるよう設計されています。また、非対称スタイラス・コンフィグレーションにも対応しています。

最適化されたエアベアリング

より強固な取り付け方法の採用により、新しいエアベアリングは安定性を向上させ、より高い精度を実現しました。

最適化されたエレクトロニクス設計

あらゆる座標測定機上で発生する、ケーブルの移動が及ぼす精度への影響は、デカップリング回路の改良と、分散化モジュールを備えた新しいエレクトロニクス・コンセプトの採用により低減しました。新しいコンピュータによる精度補正(CAA)および、追加のCAA補正が、最高精度の実現で不可欠な役割を果たしています。

 

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