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マルチイオンビーム顕微鏡

絶縁試料のナノメートル以下のイメージングとナノ加工アプリケーション。

マルチイオンビーム顕微鏡

マルチイオンビーム顕微鏡

ORION NanoFab

10nm以下のナノ構造用の3-in-1マルチビーム集束イオン顕微鏡
ORION NanoFabは、単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。

工業用ORION NanoFab

 

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