ZEISS Crossbeam 750

高精度 FIB-SEM
観ながら制御する
再現性あるワークフロー
Multiple ZEISS Crossbeam FIB-SEM microscopes representing the scalable Crossbeam platform.

その時々のニーズへ、装置を柔軟に合わせる

共通のソフトウェア/ハードウェアプラットフォームを採用した ZEISS Crossbeam FIB-SEM シリーズなら、ラボの成長ステージに合わせて柔軟に拡張していくことが可能です。

日々の現場での探索的な観察から、自動化されたハイスループット解析まで、精度・スピード・高信頼性のバランスを維持したまま、求める性能とワークフローを段階的に広げられます。

Crossbeam FIB-SEM workflow showing focused ion beam milling and SEM imaging for nanoscale materials research.

より多くの情報から、即断を

ZEISS Crossbeam 750 は、ミリング加工中でも高品質な SEM 画像を提供し、これまで見逃されがちだった微細構造まで鮮明に描き出します。エンジニアは加工の停止・継続をその場で確信を持って判断できるため、無駄な作業中断を減らし、過度な薄膜化を防ぎながら、サイクルタイム短縮と、最初のラメラから高い歩留まりを両立できます。

さらに、実動作点で性能を検証できるエンドポイント制御により、ワークフローのスムーズな横展開を実現、導入時リスクも最小限に抑えられます。

Crossbeam FIB-SEM imaging workflow for semiconductor failure analysis and device cross-section characterization.

確かな精度で、確信ある作製を

ZEISS Crossbeam 750 なら、膜厚・表面状態・加工中のエンドポイントを同時に監視しながら、業界最高クラスの精度を誇るナッジツールでリアルタイムに条件を追い込むことができます。HDR Mill + SEM によって「観ながら削る」ことができるため、狙ったナノメートル厚さで確実に加工を止められます。

超高精度な並進・回転ナッジング(追い込み位置微調整)が、最高分解能でのナノメートル制御を実現し、すべてのラメラを仕様通りの品質に仕上げます。エンドポイントは即時にフィードバックされるため、予期せぬばらつきのない、再現性のある完璧に近いラメラ作製が可能になります。

*ナッジツールとは、作業者を支援・誘導するナビゲーションや自動化ツールのことです。作業を強制するのではなく、直感的なきっかけ(ナッジ)を通じて、プロセスにおける、自動化、属人化の解消、ミス防止を促します

Crossbeam FIB-SEM platform used for high-confidence 3D biological imaging and structural analysis.

個々のノウハウを、チームに波及させる

リアルタイム制御できる FIB 加工によって、限られた FIB エキスパートに頼らなくても、チーム全員が安定したファーストパスのラメラ品質に手が届くようになります。

プロンプト、テンプレート、自動ログ付きチェックリストによるガイド付ワークフローに加え、ナッジツールと直感的なドラッグ操作が、日常のオペレーションを分かりやすくサポートします。ライブでの進行バーと明確な形状パラメータ表示により、経験年数を問わず、誰でも予測可能で再現性の高いエンドポイントを実現できます。

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Accessories and sample preparation tools for ZEISS Crossbeam FIB-SEM microscopes.
Accessories and sample preparation tools for ZEISS Crossbeam FIB-SEM microscopes.

Crossbeam をワークフローに最適な形にカスタマイズ

モジュール式のハードウェアオプションにより、Crossbeam は試料、アプリケーション、スループット要求に適応します。システム性能と運用上の信頼性を維持しながら、ニーズの変化に応じて機能を拡張できます

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