ZEISS Crossbeam 750 FIB-SEM

Crossbeam 750 は、ミリング加工中のイメージング性能と安定性を高める新しい Gemini 4 対物レンズを搭載しています。

HDR ^{_{(High Dynamic Range)}} Mill + SEM により、加工と同時に断面構造やデリケートな界面を、ライブかつ高解像度で可視化します。リアルタイムに判断できるため、加工におけるエンドポイントを確信をもって制御することができ、重要構造を保護し、手戻りなく20 nm未満の精密ラメラ作製を達成できます

Crossbeam 750 は、ミリング加工中の連続的なSEMイメージングと Gemini 4 フィールドフリー対物レンズを組み合わせることで、狙い通りのラメラ作製を可能にします。

高解像度イメージングにより、界面をリアルタイム監視、ミリング面を正確に合わせ、重要部分の除去前に微調整を行うことができます。

HDR Mill + SEMにより、薄片化の全工程で埋設構造が明瞭に見え続けるため、確信を持ったエンドポイント制御が実現でき、フィン、ビア、ゲートスタックなどの先端半導体構造に対しても、再現性の高い20 nm未満のラメラ作製を支援します

ZEISS ZEN core EM ソフトウェアは、 Crossbeam 750 の高度なワークフローに必要な、「取得・制御・解析」をシームレスに統合します。ZEN は、自動レシピ、バッチ処理、同期するSEM/FIB 動作をよりシンプルにします。

下流工程の解析においては、次のツールが機能を発揮します。これらを組み合わせることで、ナノファブリケーション、広域イメージング、相関ワークフローを再現性ある最高品質で強化します

_{・ZEISS arivis：スケーラブルな AI を使った画像解析
・ZEISS arivis Pro：多次元可視化とセグメンテーションのパイプライン
・ZEISS arivis Hub：大容量データ処理を高速化、バッチ化
・ZEISS arivis Cloud：クラウド上で AI モデル学習を提供、コード不要の高度解析の自動化とスケール化}