ZEISS テクニカルカンファレンス 2026

名古屋大学大学院 工学研究科 准教授
徳永 智春 先生

_{平成19年9月 九州大学大学院 工学府 材料物性工学専攻
平成19年10月 - 令和6年7月 名古屋大学大学院 工学研究科助教博士課程後期課程 修了
その間
平成26年10月-令和2年3月 星和電機株式会社
コンポーネント事業部 開発部 技術顧問 兼任
令和6年8月 名古屋大学大学院 工学研究科 准教授（現職）
令和6年10月 北海道大学大学院 工学院 特任准教授（クロスアポイント教員：現職）}

名古屋大学は2025年に超高圧電子顕微鏡室へGemini3カラムを搭載したGeminiSEM560を導入しました。本装置の特徴は、極低加速電圧で加速した電子線を用いて観察が可能であるところです。そのため、一般には、試料最表面の観察や、軽元素からなる材料の観察に用いられます。本装置の使用経験者からは、「Gemini1カラム搭載のSEMを用いた観察像の方が、像質が良いため期待外れだった。」というユーザーエクスペリエンス（UX）ギャップを聞くことがあります。実際には観察試料に応じて観察条件を調整することで同様の像を観察することが可能です。そこで本講演では、GeminiSEM560とGemini1カラム搭載SEMの両機器を使用した経験から、このようなUXギャップを解消するべく、試料観察事例を示し、観察試料や目的に応じた観察条件の設定を簡単に紹介します。さらにGeminiSEM560の購入すべき人について語ります。

東京理科大学　
総合研究院 ナノカーボン研究部門 客員教授
本間 芳和 先生

_{1990年頃よりNTT物性科学研究所にて超高真空SEMを用いた半導体表面の結晶成長過程・ナノ構造形成過程のその場観察に従事
2004年に東京理科大学理学部第一部物理学科教授に就任後、ナノ構造物理学の研究を推進。その一環として、SEM（LEO1530VP）によるカーボンナノチューブやグラフェン形成のその場観察を実現}

SEMでは、二次電子放出が様々な要因の影響を受けるため、定量的理解は困難であるものの、多彩な情報を反映した像を得ることができます。筆者は原子レベルで平坦な物質の表面において、結晶構造や組成に起因する二次電子コントラストを研究してきました。本講演では、SEMの表面構造敏感性に焦点を当て、原子ステップやカーボンナノチューブも含む様々な表面原子層の観察例を紹介します。

カールツァイス株式会社
プロダクトアンドアプリケーションセースルスペシャリスト
風間 大和

本講演では、SEMに搭載可能な各種追加オプション機能に焦点を当て、装置の性能を最大限に引き出すための具体的な活用例を紹介します。既にZEISSのSEMを保有している方やこれから装置を検討する方を対象に、検出器オプション、分析・自動化機能、試料観察の幅を広げるソリューションなどを実アプリケーションとともに紹介します。SEM導入後の発展的な使い方から、将来を見据えた装置構成検討のヒントまで、ZEISSのSEMをより効果的に活用するための情報を提供します。

JFEテクノリサーチ株式会社
分析・解析技術 Division ナノ解析センター 専門技監
名越 正泰 氏

_{1993 博士（理学） 東北大学
1986 北海道大学大学院工学研究科応用物理専攻 修士課程修了、同年 日本鋼管（株）（現 JFEスチール（株））入社
表面分析、放射光、電子顕微鏡を用いた解析技術の開発、およびこれらを駆使した表面処理鋼板などの鉄鋼材料開発に従事
2017 JFEテクノリサーチ株式会社入社　各種材料の評価および評価技術の開発に従事　現在に至る。}

高性能磁石の開発では、保磁力などの特性に関わる磁区構造の観察が重要です。本講演では、走査電子顕微鏡（SEM）による磁区コントラスト観察手法の概要と特徴を説明します。さらに、集束イオンビーム加工（FIB）とSEMを組み合わせたFIB-SEM複合機を用いて、Nd-Fe-B焼結磁石（消磁状態）の磁区構造を三次元的に可視化することを試みた結果を紹介します。

カールツァイス株式会社
プロダクトアンドアプリケーションセースルスペシャリスト
小幡 卓眞

新型FIB-SEM Crossbeam 750は、SEMカラムに新開発のGemini 4カラムを搭載し、新しいスキャン方式によりFIB加工中でも高分解能・高S/N比のSEM像を取得可能な“SEMライブビュー機能”を強化しました。本講演では、20 nm以下の極薄TEM試料作製や1 nmボクセル3Dトモグラフィーを例に、装置の特長と活用事例をご紹介します。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
イメージングアンドアナリシス事業本部
EM分析機器事業部門
中島 里絵 氏

材料の機械特性評価は、試験片を「押す・引く・壊す」ことで理解されてきました。しかし、評価対象がミクロン～サブミクロンサイズになると、従来手法ではその挙動を正確に捉えることが困難です。本講演では、オックスフォード・インストゥルメンツ社のIn SEM Nanoindenterを用い、変形・破壊の過程をその場観察しながら力学特性を評価する手法とその有用性を紹介します。

信州大学　
工学部 電子情報システム工学科 教授
橋本 佳男 先生

_{1993 東大大学院修了、博士（工学）取得。
1994 信州大学工学部に助手として着任、以降、同助教授、教授として信州大学に勤務。（化合物薄膜太陽電池の研究）
2014 -2019  信州大学先鋭領域融合研究群カーボン科学研究所長
2012 ‐2021  ナノテクノロジープラットフォーム信州大学実施責任者
2021 -2029  マテリアル先端リサーチインフラ信州大学スポーク代表}

信州大学で学内外に共用する高分解能X線顕微鏡（Xradia 620 Versa）の広範囲な学術分野での分析例をお話します。伝熱材料の人造黒鉛では成型条件により空隙の形状や大きさの変化がします。一方、ダイヤモンド／銅複合材では、ダイヤモンド粒の隙間を銅が埋める構造が確認できます。また、生体材料のチタン材では、チタン線の処理による内部空孔の変化が観察されます。さらに、自然石（石灰岩）の内部空隙と地震波伝搬への効果についての調査結果も紹介します。

カールツァイス株式会社
プロダクトアンドアプリケーションセールススペシャリスト
山本 千智

VersaをはじめとするXRMを用いた材料評価においては、スループット向上と画質維持の両立や、アーチファクト低減が重要な技術課題となっています。本講演では、これらの課題に対して弊社がご提供可能なソリューションを実例とともにご紹介いたします。評価目的やサンプル特性に応じて、どのような対策を講じるべきかの指針となれば幸いです。

カールツァイス株式会社
テクニカルサービス部門統括責任者
越田 陽人

カールツァイスの光学・電子・X線顕微鏡は、長期間にわたり高い性能を維持しながら最先端の研究・分析を支えることを前提に設計されています。一方で、安定した性能維持や将来にわたる活用には、適切な保守、予防的なメンテナンス、そして技術進化への対応が不可欠です。
本セッションでは、顕微鏡を長く、安心して使い続けていただくことを目的とした、カールツァイスの「Protect Your Investment」の考え方をご紹介します。装置導入後も最新のオプションや機能を活用し続けるためのアップグレード、ライフサイクル全体を見据えたサポートについてご説明します。

カールツァイス株式会社
アプリケーション部門統括責任者
佐藤 朗

ZEISS Microscopy Customer Center（ZMCC）は、単なるデモンストレーションの場ではなく、顧客サポート、技術トレーニング、そして専門家同士の技術交流を通じて価値を創出する拠点です。本講演では、ZMCCがどのようにして皆様とZEISSとの多様な接点を支え、グローバルに知識と技術をつないでいるのかをご紹介します。