国立研究開発法人物質・材料研究機構
構造材料研究センター　上席研究員
原徹 様

私たちはこれまで、金属・鉄鋼などの各種材料を対象に、FIB-SEMシリアルセクショニングを用いた三次元組織解析を行ってきました。本講演では、その手法と応用事例を紹介しながら、SEMおよびFIB-SEMに求められる性能・機能について考察します。さらに、今後の装置開発や観察技術の進展が、材料解析にもたらす新たな可能性についても展望します。

株式会社ダイセル
評価解析センター　研究員
高尾直樹 様

当社で、2024年の4月にX線CT装置「Xradia 515 Versa」の運用を開始してから1年が経過しました。導入の主目的であった高分解能や軽元素の観察においても、いくつか検討を行っています。今回はその中から、生体試料中の薬液分布状態解析、異なる樹脂の相溶性状態評価、フィラー配合樹脂の引張荷重による破壊解析について紹介します。

パナソニックインダストリー株式会社
品質センター　分析部　材料分析課
藤本亜由美 様

SEMに付属するSTEM検出器は、加速電圧が30kV以下であるため、低加速STEMと呼ばれます。低加速電圧の利点を活かして、加速電圧が100kV以上のTEMでは像を得にくい高分子材料や有機材料の観察に有用です。また、物質の微小な密度差をコントラストとして可視化することも可能です。本件では、GeminiSEM 560に搭載されたSTEMの活用法およびその可能性についてご紹介します。

国立大学法人福井大学
カーボンニュートラル推進本部（産学官連携本部）　助教
西村文宏 様

2024年度にGeminiSEM560を導入して初めてその画像を見た時、これ以上は無いと思っていたULTRA PLUSの画像を超える鮮明で高精細な画像が得られ、その進歩に驚いた。研究者としてはGeminiSEM560の極低加速電圧観察している深さが、XPSなどの表面分析深さに近づいてきたことから新しい知見が得られると期待している。一方で管理者の視点では従来のSEMしか知らない、又は満足してしまっているユーザーに対してその優位性をどう伝えるかが課題としてある。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
分析機器事業部
中島里絵 様

オックスフォード・インストゥルメンツが開発した「Unity」は、イメージング技術の未来を切り拓く画期的な検出器です。この世界初の“BEX”イメージング検出器は、反射電子 (BSE) とX線 (X-ray) を同時に収集し、画像化します。反射電子とX線信号を融合することで、元素情報を含む高精細なカラー画像を瞬時に表示し、試料の観察を新たな次元へと導きます。今回、UnityをGeminiSEMに搭載し、多様な試料を観察した結果をご紹介します。科学の美しさを映し出すこの技術が、あなたの研究に新たなインスピレーションをもたらします。

カールツァイス株式会社
プロダクトアンドアプリケーション セールススペシャリスト
雜古宗徹

近年では様々な部品の小型化や構造の微細化に伴い、短時間での高分解能/高画質な非破壊での内部構造のイメージングの需要が高まっています。ZEISSで新たに開発されたAdvanced Reconstruction Toolbox（ART）5.0では、以前のART以上に学習モデルの作成時間や学習精度が向上しています。本講演でのART5.0の変更点や事例のご紹介を通じて、ARTの進化を体感いただければ幸いです。

カールツァイス株式会社
プロダクトアンドアプリケーション セールススペシャリスト
風間大和

新開発のSEM制御ソフトウェア「ZEN core EM」は、誰でも簡単にGeminiカラムを使いこなせるよう、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。さらに、Oxford Instruments製EDS検出器の制御を統合し、SEMによる観察とEDSによる元素分析の壁を感じさせない次世代の操作性を提供します。本講演ではこれらの機能を通じて、スループットの向上と操作の簡便さを実感していただけますと幸いです。