3D X線顕微鏡で高速サブミクロンイメージング

ZEISS Xradia 610 and 620 Versa

ZEISS Xradia Versa Familyの最先端3D X線顕微鏡は、科学研究や産業研究において新たな段階へ。業界最高レベルの分解能とコントラストをもとに、ZEISS Xradia 610/620 Versaは非破壊サブミクロンスケールイメージングの限界を超えます。

主な特長

  • インタクトな試料の非破壊サブミクロンスケール顕微鏡
  • 分解能を犠牲にすることなく高いビーム強度と高速スキャンを実現
  • 500nmの空間分解能と最小達成可能ボクセルサイズ40nm
  • 広範囲にわたる試料の種類、サイズ、および作動距離において高分解能を実現
  • 制御された環境下および経時下における、微細構造の非破壊特性評価のためのin situイメージング
  • 将来のイノベーションや開発のために、拡張・アップグレード可能

応用事例

リチウムイオン電池

小型パウチ型電池(80kV)
小型パウチ型電池(80kV):in situ微細構造、カソード結晶粒レベルにおけるエージング、セパレーター層

電子機器と半導体パッケージ

C4バンプのはんだクラックとボイド
2.5Dパッケージのバーチャル断面:C4バンプのはんだクラックとボイドを解析

アディティブ・マニュファクチャリング

AMで製造されたアルミニウム歯車の内部構造
AMで製造されたアルミニウム歯車の内部構造:ボクセル解像度3 µmの画像により、溶融していない粒子、原子量の大きい介在物、小さなボイドを確認

材料研究

アディティブ・マニュファクチャリングで作成された格子構造
アディティブ・マニュファクチャリングで作成された格子構造

原材料

砂岩中心部のマルチスケール非破壊特性評価
砂岩中心部のマルチスケール非破壊特性評価:高品質の非破壊内部トモグラフィーおよび統合された細孔スケール解析結果(細孔の分離を示す)

ライフサイエンス

花のXRM顕微鏡画像
花のXRM顕微鏡画像:新たに3D表示でその構成要素を解明。萼片(黄色)と花弁(紫)の区別が可能

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ZEISS Xradia 620 Versa
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