ZEISS ToF-SIMS

分析、トモグラフィー、サンプル加工、データ整合性が大幅に改善

SIMS搭載「イオンビーム顕微鏡 ZEISS ORION NanoFab」
ToF-SIMS搭載「集束イオンビーム搭載走査電子顕微鏡 ZEISS Crossbeam」

2019年8月30日

カールツァイス株式会社は、新たな機能を搭載したイオンビーム顕微鏡と集束イオンビーム搭載走査電子顕微鏡を発表しました。これにより分析、トモグラフィー、サンプル加工、データ整合性を大幅に改善することが可能となります。アディティブマニュファクチャリング、バッテリー、太陽光発電、建材、ナノマテリアルなどのメガトレンドに関連しているエンジニアリング、エネルギー、ソフトマテリアル、地球科学などの研究に新しい可能性を拓きます。

さらに新たに発表となった集束イオンビーム搭載走査電子顕微鏡 ZEISS Crossbeam 350。飛行時間型二次イオン質量分析(ToF-SIMS)機能が追加されたZEISS Crossbeam シリーズ*は強力な分析機能を有することになります。

*対応機種: ZEISS Crossbeam 550, ZEISS Crossbeam 350

ZEISS Crossbeam 350 /  ZEISS ORION NanoFab

強力な分析機能

新しい元素分析用SIMSソリューションにより、ZEISS ORION NanoFabおよびZEISS Crossbeam シリーズに強力な分析機能が追加されました。新たに発表したZEISS Crossbeam350には飛行時間型二次イオン質量分析(ToF-SIMS) 機能を搭載可能で、ZEISS Crossbeam 550にも搭載することができます。

イオンビーム顕微鏡による新しい解析

 

3Dトモグラフィーワークフローが大幅に改善

3Dトモグラフィーワークフローを大幅に改善し、トップクラスの3Dデータボリュームの作成が可能となりました。Zスライス厚の定量と補正により、トモグラフィースライスをほぼ完全に3Dボリュームに再構築することができます。

ZEISS Atlas 5ハードウェアとソフトウェアパッケージのアップデートにより、3D分析(電子後方散乱回折[EBSD])、相関ワークフロー、スライス厚の精度が改善されました。この“True Z テクノロジー” により、高品質な FIB-SEM トモグラフィーを実現します。

ZEISS Atlas 5

サンプル加工が容易に

透過型電子顕微鏡(TEM)ラメラ作成用の新しいローディングステーションとサンプルホルダーにより、TEMラメラ作成ワークフローがより使いやすくなります。さらに、その後の分析のためのTEMへのサンプルの移行もスムーズになります。

データの整合性を保持

機械学習セグメンテーションソフトウェアZEISS ZEN Intellesis のリリースにより、高速で高品質なデータ取得がさらに強化。ZEISS Crossbeamの 3D データセットに完全に対応し、データの取得スピードと品質が向上することで、データの整合性が保持されます。

またZEISS ZEN Intellesisにより、テクスチャベースのセグメンテーションが可能になります。かつては抽出することのできなかった情報を、繊維複合材から岩石まで様々なサンプルから抽出することができます。

ZEISS ZEN Intellesis


About Carl Zeiss

ZEISSは光学およびオプトエレクロニクスの分野で世界的に事業を展開するテクノロジー企業です。2018年度、ZEISSグループはIndustrial Quality & Research、Medical Technology、Consumer MarketsおよびSemiconductor Manufacturing Technology という4つの事業部門で総額 58億ユーロを超える年間収益を生み出しました (2018年9月30日現在)。

工業測定技術と品質保証分野の革新的なソリューション、生命科学および材料研究向けの顕微鏡ソリューション、眼科およびマイクロ手術領域での診断と治療のための医療技術ソリューションを開発・提供しているZEISSは、リソグラフィ光学業界を世界的にリードしており、半導体部品を製造するチップ業界を支えています。また、メガネレンズ、カメラレンズ、双眼鏡など、トレンドを率いるZEISSブランド製品はグローバルな需要を生み出しています。

デジタライゼーション、ヘルスケア、スマート製造など、今後成長が見込まれる分野に対応したポートフォリオと強力なブランド力により、ZEISSは光学と光電子工学分野を超えて未来を形作っています。研究開発への大規模かつ持続的な投資が、ZEISSテクノロジーおよび市場リーダーシップの成功と継続的な成長の基礎をなしています。

約3万人の従業員により50近い国での展開を続けるZEISS。世界各地に約50の販売&サービス会社および30の製造拠点と開発センターを擁しています。1846年イエナに創立された当社の本社はドイツ連邦共和国オーバーコッヘンに所在します。ドイツ有数の規模を誇るカールツァイス財団は、持株会社であるCarl Zeiss AGの単独所有者として科学の振興に尽力しています。

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