ツァイス ナノテクノロジー2019

電子顕微鏡をはじめ、ZEISSの多彩な顕微鏡ラインナップ

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ダブルコンデンサーのGemini 2 カラム

Gemini 2 カラム テクノロジー

低加速電圧下で高コントラストの実現が可能なFE-SEM

ZEISS GeminiSEM 450では、GEMINIカラム技術を継承しつつ、新たにダブルコンデンサーレンズによる大電流Gemini 2カラムを標準搭載。クロスオーバーフリーのレンズモードによる収差を抑制するモードも可能であり、試料最表面の低加速電圧による高分解能観察やダメージレス観察、大電流による高速元素分析、高速かつ鮮明なEBSD結晶方位解析等のアプリケーションを実現します。

High resolution ガンモード
電子銃アライメントの新機能として一次電子線の色収差を軽減させかつ高分解能観察時に用いる。電子線エネルギー値を最適化し形成するHigh resolutionガンモードをオプション搭載可能

Gemini 2 カラムデザイン
すべてのワーキングポイントでビーム電流密度を最適化、イメージングモードと分析モードの切り替えが簡単

Inlens SE・EsB 検出器
情報量が多く、高効率で高コントラスト検出

Tandem decel
オプションのサンプルバイアスは5 kVまで。低加速電圧での分解能を大幅に改善

NanoVP・local CC
オプションの低真空モードは絶縁サンプルの高分解能インレンズ検出とEDS分析を実現

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ZEISS製品ラインナップの一部

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FE-SEM

極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡

ZEISS GeminiSEM 300 / 450 / 500

Gemini光学系により低加速および超低加速電圧下で、高分解能かつ高コントラストの試料最表面イメージングを実現。

FE-SEM

汎用フィールドエミッション走査型電子顕微鏡

ZEISS Sigma 300 / 500

高画質イメージングと分析用FE-SEM。イメージングや解析ルーチンを構成し、生産性を向上。

FIB-SEM

集束イオンビーム加工観察装置

ZEISS Crossbeam 340 / 550

高いレベルのイメージングと解析性能を両立させるGeminiカラムを搭載したFE-SEMと、圧倒的な切削効率を達成した次世代FIBの複合システム。

アプリケーション

メソポーラスシリカにコバルトナノ粒子

メソポーラスシリカにコバルトナノ粒子
GeminiSEM 450; EDS/STEM、加速電圧:25 kVdetector.

銀ナノ粒子付着ファイバー

銀ナノ粒子付着ファイバー
Sigma; 加速電圧:1 kV、(左)Inlens Duo SE像、(右)Inlens Duo BSE像 創傷ケア抗菌 コート

ナノパターニング

シリコンマスタースタンプ上に作製されたナノ流体工学チャンネル
Crossbeam; シリコンマスタースタンプ上に作製されたナノ流体工学チャンネル。提供:I. Fernández-Cuesta, INF Hamburg, Germany.