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FIB-SEM-fsレーザーによる高速・大面積加工と像観察・分析への有用性

本発表動画では、様々な条件(試料ならびにレーザー)での実際の加工やそれによるナノ構造への影響を分析。さらに、最終的な観察、画像解析や分析(EBSDなど)への有用性や、その過程で利用可能な画像処理技術についても説明します。

(本講演の内容は、2021年6月の日本顕微鏡学会 第77回学術講演会での発表内容となります。)

LaserFIB for ZEISS Crossbeam 製品ページ

対象

  • FIB-SEMをお使いの方
  • 高速大面積加工に興味のある方
  • X線CTと相関断面構造を観察したい方

講演内容

集束イオンビームを備えた走査電子顕微鏡(FIB-SEM)は微小領域の三次元観察・分析装置として、また透過電子顕微鏡試料作成のような微小加工装置として、材料科学研究や品質管理、不良解析などに幅広く使われています。FIBの一般的なスポットサイズが約5 nmから数μmであることから、加工領域は通常数十μmとなっており、数百μmからmmオーダーに及ぶ大面積の加工は非現実的でした。

このような微小スケールを対象とするFIB-SEMと、機械研磨のような大きなスケールでの加工装置とのギャップを埋める手法として、レーザー加工があります。特にフェムト秒(fs)パルスレーザーは、連続波レーザーやナノ秒レーザーで生じる断面の熱変性を抑えられるため、FIB-SEMとの組み合わせで近年注目されている技術です。fsレーザーを搭載したFIB-SEMでは、大面積加工により、試料深部へのアクセスが可能になるとともに、ハイスループットな解析・加工も可能になります。加えて、ダメージが少ない綺麗な加工断面により、FIBによる仕上げを行わずに、直に観察・分析へと進めることもできます。

本発表では、様々な条件(試料ならびにレーザー)での実際の加工やそれによるナノ構造への影響を分析しました。さらに、最終的な観察、画像解析や分析(EBSDなど)への有用性や、その過程で利用可能な画像処理技術についても議論します。

(本講演の内容は、2021年6月の日本顕微鏡学会 第77回学術講演会での発表内容となります。)

キーワード・ポイント

  • Laserの加工位置精度
  • 材料ごとの加工レート
  • 加工面粗さとEBSD測定

スピーカー

小田 武秀
カールツァイス株式会社

視聴方法

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