ZEISS Academy online - Electronics #2　X線顕微鏡（X線CT）

3次元X線顕微鏡(XRM)は、エレクトロニクス産業における非破壊分析の重要なツールとなっています。
本セミナーでは、2000年に登場した集光光学を用いた初のラボベースのサブミクロン分解能X線顕微鏡についてお話します。
この新しいアーキテクチャを採用した非破壊観察ツールは、最先端のデバイスに搭載されている微細な回路で構成されたパッケージの不良解析に対して、不良個所発見の効率と確度を大きく向上させました。
優れたコントラストと高分解能を有するX線顕微鏡は、先進パッケージの開発・製造を支援するための豊富な3Dデータと統計情報を提供する計測ソリューションとして、新たな用途を切り開いています。