電子顕微鏡・イオン顕微鏡

電子顕微鏡・イオン顕微鏡

走査型電子顕微鏡

SEM(Scanning Electron Microscope)

極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 GeminiSEM

極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

ZEISS GeminiSEM

 

低加速電圧下で高コントラストを実現、さまざまなサンプルに対応可能な極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡。サブナノスケールの分解能と高い検出効率でのイメージングが簡単に。

GeminiSEM 300/450/500

汎用フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 Sigma Family

汎用フィールドエミッション走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

ZEISS Sigma

 

高画質イメージングと分析に適した走査型電子顕微鏡。電子光学系だけではなく検出器のジオメトリも最適化しシャドーイング効果を除去するため、分析のスループットが劇的に向上。

Sigma 300/500

マルチ走査型電子顕微鏡 MultiSEM

マルチ走査型電子顕微鏡(Multi-SEM)

ZEISS MultiSEM

 

従来の走査型電子顕微鏡の中でも最大の試料サイズ、最速スキャンを実現したマルチ走査型電子顕微鏡。単一ビームのSEMに比べ、20倍以上のスピードでナノメートルレベル分解能でのイメージングが可能に。

MultiSEM 505/506

ルーチン走査型電子顕微鏡 EVO

ルーチン走査型電子顕微鏡(SEM)

ZEISS EVO

 

直感的な操作が可能な調査研究用ルーチン走査型電子顕微鏡。ルーチンイメージングタスクを自動化することで高い生産性を実現。

EVO 10/15/25

走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡(SEM)

ZEISS Particle SCAN/Jet SCAN

 

粒子解析やエンジン故障解析など、特殊な要求やニーズに対応した走査型電子顕微鏡。

 


電界放出型走査電子顕微鏡と次世代集束イオンビームの複合装置

FIB-SEM(FIB/FE-SEM)

集束イオンビーム(FIB)-SEM CrossBeam

電界放出型走査電子顕微鏡・次世代集束イオンビーム(FIB-SEM)

ZEISS Crossbeam

 

高いレベルのイメージングと解析性能を両立させるGEMINIカラムを搭載したFE-SEMと、圧倒的な切削効率を達成した次世代FIBの複合システム。

Crossbeam 340/550


マルチイオンビーム顕微鏡

マルチイオンビーム顕微鏡 ORION NanoFab

マルチイオンビーム顕微鏡

ZEISS ORION NanoFab

 

3つのイオンビームを搭載、サブ10nmの加工が可能な高い柔軟性。マイクロマシニングからナノマシニングまでをカバーする唯一のシステム。

ORION Nano Fab