電子顕微鏡・イオン顕微鏡

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SEM

走査型電子顕微鏡

GeminiSEM

ナノメートル以下の分解能と高い検出効率での簡単イメージングを実現した、極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡です。

 

  • 極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 GeminiSEM
Sigma Family

Sigma Family

フィールドエミッションSEM(FE‐SEM)のテクノロジに高度な解析を組合わせました。粒子、表面、ナノレベルの構造のイメージングまでセミオートの4ステップのワークフローがあり、時間を節約できます。

 

  • 汎用フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 Sigma Family

MultiSEM

61本の平行電子ビームを搭載した世界最速の走査電子顕微鏡

電子顕微鏡観察用 EVO

EVO Family

ワークフローの自動化、比類ない表面イメージング、環境制御型顕微鏡観察などに利用できる高解像度走査電子顕微鏡です。

 

  • 高解像度走査電子顕微鏡 ZEISS EVO

MERLIN

ナノメートル以下の世界を観察する電界放出型走査電子顕微鏡のフラグシップモデルです。 きわめて高い解像度のイメージングと高電流ビームを併用し、単一プラットフォームで超高速ナノ解析を行います。

 

材料研究用

  • 低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 MERLIN

生命科学用

  • 低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡 MERLIN

Particle SCAN/Jet SCAN

特殊な要求やニーズに対応した走査電子顕微鏡

 

粒子解析

エンジン故障解析 


FIB-SEM

集束イオンビーム(FIB)-SEM複合装置

CrossBeam

CrossBeam

トモグラフィの実行を高速化:優れたスポット形状を持つ最大100nAのFIB電流を使用して、マイクロパターニングとナノパターニングのギャップを埋めます。

 

  • 集束イオンビーム(FIB)-SEM複合装置 Crossbeam

マルチイオンビーム顕微鏡

ORION NanoFab

ORION NanoFab

10nm以下のナノ構造用の3-in-1マルチビーム集束イオン顕微鏡ORION NanoFabは、単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。

 

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