低加速電圧下で高コントラストを実現、さまざまなサンプルに対応可能な極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡。サブナノスケールの分解能と高い検出効率でのイメージングが簡単に。
従来の走査型電子顕微鏡の中でも最大の試料サイズ、最速スキャンを実現したマルチ走査型電子顕微鏡。単一ビームのSEMに比べ、20倍以上のスピードでナノメートルレベル分解能でのイメージングが可能に。