低加速電圧下で高コントラストを実現、さまざまなサンプルに対応可能な極低加速フィールドエミッション走査型電子顕微鏡。サブナノスケールの分解能と高い検出効率でのイメージングが簡単に。
GeminiSEM 300/450/500
高画質イメージングと分析に適した走査型電子顕微鏡。電子光学系だけではなく検出器のジオメトリも最適化しシャドーイング効果を除去するため、分析のスループットが劇的に向上。
Sigma 300/500
従来の走査型電子顕微鏡の中でも最大の試料サイズ、最速スキャンを実現したマルチ走査型電子顕微鏡。単一ビームのSEMに比べ、20倍以上のスピードでナノメートルレベル分解能でのイメージングが可能に。
MultiSEM 505/506
直感的な操作が可能な調査研究用ルーチン走査型電子顕微鏡。ルーチンイメージングタスクを自動化することで高い生産性を実現。
EVO 10/15/25
粒子解析やエンジン故障解析など、特殊な要求やニーズに対応した走査型電子顕微鏡。
高いレベルのイメージングと解析性能を両立させるGEMINIカラムを搭載したFE-SEMと、圧倒的な切削効率を達成した次世代FIBの複合システム。
Crossbeam 340/550
3つのイオンビームを搭載、サブ10nmの加工が可能な高い柔軟性。マイクロマシニングからナノマシニングまでをカバーする唯一のシステム。
ORION Nano Fab