SIGMA シリーズ電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）によって、高度な解析用の顕微鏡観察を行うことが可能です。インレンズ二次電子検出を行う GEMINI 鏡筒を備えた SIGMA シリーズは、並ぶものがない解像度とコントラスト、輝度で複雑なトポグラフィの試料のイメージングを実現します。高真空と圧力可変モードによる操作で、導電性・非導電性試料の高品位イメージングが可能です。

SIGMA についてのお問い合わせは こちら 

SIGMA HD によって、解析用 FE-SEM で高解像イメージングができるようになりました。低 kV に最適化された新しい後方散乱検出器、HD BSD、低加速電圧（750 V から 3 kV）の試料、低プローブ電流が特徴です。新しい HD BSD では、最大 30 kV のクラス最高級のイメージングが可能です。

SIGMA HD の大きなイメージフレームストアと高速電子ビーム走査の組み合わせによって、高解像視野（12k × 9k）で高速（ピクセルあたり 50 ナノ秒）な定量的元素マッピングを実現しています。また、2つの EDS を同時に利用できるチャンバになっています。この2つの EDS は、立体角を最大限に検知できるよう正反対の位置に取り付けられています。ビーム感受性の高い試料には、デュアルEDSが高いX線カウントレートを維持しながら、低プローブ電流を可能にします。

SIGMA HD についてのお問い合わせは こちら

SIGMA 3View を圧力可変で使用すれば、最適な状態に電荷を中和できます。このシステムは、まったく人手を介さずに、極めて長期間安定的に稼働します。

ZEISS の GEMINI 技術では、1回の走査で最大 32k × 24k ピクセルのナノメートル分解能の画像を得ることができます。広い視野でもエッジがぼやけることはありません。ほとんどのアプリケーションでは、画像をつなぎあわせる必要はありません。

アプリケーションによっては、3View との組み合わせで最大で 10 倍速く結果を得ることができます。SIGMA 独自の高電流モードはアプリケーションのスピードを上げることができます。

SIGMA 3Viewについてのお問い合わせはこちら