ZEISS Sigma Family

フィールドエミッションSEM（FE‐SEM）のテクノロジーに高度な解析。実績ある Gemini 電子光学系を搭載しています。

様々なオプションが選択できる検出器：粒子、表面、ナノ構造のイメージングが可能

セミオートの4ステップのワークフローで時間を節約： イメージングと解析のルーチンを構成して生産性が向上

Sigma 300 はコストパフォーマンスに優れています。また、Sigma 500 ではクラス最高のEDS geometry で、簡単に高速に元素分析が可能。試料を選ばず、いつでも正確に再現性のある結果が得られます。

• 最新の検出テクノロジーでニーズに合わせて Sigma をカスタマイズし、試料の特性を評価
  
• オプションのインレンズ Duo 検出器で表面形状と組成情報を取得
  
• 新世代の二次電子（SE）検出器：50%以上のシグナルで画像を撮影。圧力可変モードで有効な Sigma の新しい C2D および VPSE 検出器： 低真空で85%以上コントラストが向上したクリアな画像を取得

• ４ステップのワークフローで Sigma の全ての機能を制御。 素早いイメージングで、マルチユーザ環境でもトレーニング時間を節約
• 試料を俯瞰して最適なイメージング条件をセット
  
• 関心領域（ROI）を活用して複数の試料を自動イメージング
• ワークフローの最後のステップで試料の情報を可視化

• 走査電子顕微鏡と元素分析を統合： Sigma のクラス最高のEDS geometry はビーム感受性の高い試料に対して特に、分析の生産性を向上
  
• 解析データを従来の半分のプローブ電流、半分の時間で取得
  
• 完璧でムラの無い解析をするFE-SEM。 完璧でムラの無い解析をするFE-SEM解析の作動距離は8.5 mmと短く、作動角度は35°
  

• Gemini の対物レンズ設計は、静電場と磁場の組合わせで、試料に与える場の影響を最小に抑えつつ、光学性能を最大限引き出すことにより、磁性材料などの難しい試料での優れたイメージングが可能
• Gemini インレンズ検出は二次電子（SE）と後方散乱電子（BSE）を検出することで、最短かつ効率的なシグナル検出を可能に
  
• Gemini のビームブースターテクノロジーが小さいプローブと高いSN比を保証
  

• 最新の検出テクノロジーであらゆる試料を分析
  
• 高真空モードのためのETSEおよびインレンズ検出器で表面形状の情報を高分解能で取得
  
• VPSEあるいはC2D検出器により圧力可変モードで高コントラスト画像を取得
  
• aSTEM 検出器で高分解能の透過像を取得
  
• HDBSD あるいは YAG 検出器で組成分析
  

SmartSEM Touch, an add-on to the established operation system, is a simplified user-interface for multi-user environments. It comes with easy operation for both experienced and novice users. Depending on the actual laboratory environment, operation of the SEM can be the exclusive domain of expert electron microscopists. But this situation is challenged by the very common necessity that non-expert users, such as students, trainees, or quality engineers, also require data from the SEM. Sigma 300 and Sigma 300 VP take both requirements into account, with user interface options that cater to the operational needs of experienced microscopists as well as non-microscopists.

Atlas 5 makes your life easier: create comprehensive multi-scale, multi-modal images with a sample-centric correlative environment. Atlas 5 is the powerful yet intuitive hardware and software package that extends the capacity of your scanning electron microscope.

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