FIB-SEM

FIB-SEM

集束イオンビーム走査電子顕微鏡

FIB-SEM

ZEISSの集束イオンビーム走査電子顕微鏡(略称:FIB-SEM)は、GEMINI電子ビーム鏡筒の3Dイメージングおよび分析性能をFIBの機能と組み合わせて、ナノスケールで材料加工および試料調製を行います。

CrossBeam

トモグラフィの実行を高速化:優れたスポット形状を持つ最大100nAのFIB電流を使用して、マイクロパターニングとナノパターニングのギャップを埋めます。

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