ZEISS Axio Imager Vario

大型試料用正立顕微鏡

大型試料の検査 - 自動化&クリーンルーム対応

極小のMEMSセンサからXXLウェハまで、さらにフラットパネルディスプレイ全体までも破壊することなく解析できます。試料高さは254 mmまで、また横方向は300 mmの試料スペースがあるので、ZEISS Axio Imager Vario は極めて幅広い試料の検査に利用できます。また、カラムの設計は高い安定性を提供します。
クリーンルームにおけるウェハ検査に適合します。Axio Imager Vario は DIN EN ISO 14644-1 準拠でクラス5の要求を満たしています。ハードウェアオートフォーカスが搭載された電動 Z-ドライブは、最適な焦点位置の自動設定を保証します。

クリーンルーム
半導体の製造とウェハの検査はクリーンルーム内で行われます。クリーンルームは DIN EN ISO 14644-1 規格により分類され、1 mあたりの粒子の数で区別されます。ZEISS Axio Imager Vario はこの基準に準拠しクラス5のクリーンルーム要件を満たします。クリーンルームクラスISO 5 は以前の基準であるFED STD 209E (1992) のクラス100と同等です。
クリーンルームキットには、7穴の対物レンズレボルバ、防塵部品、スニーズガードが含まれます。

Highlights

ZEISS Axio Imager Vario: Examine large samples – automated and clean room compatible
  • 試料高さは最大254 mm。横方向の作業空間は300 mm x 300 mm。2種類のマニュアルカラムと工業規格の3ボタン操作の電動カラムから選択可能
  • ZEISS Axio Imager Vario は試料上のレボルバでフォーカシング。特に重量のある試料においても、高いフォーカシング精度と再現性
  • ハードウェアオートフォーカスを使用すると、コントラストの弱い反射試料でも正確で高速のフォーカシング
  • ZEISS LSM 700とZEISS Axio Imager Vario を組合わせることで、非接触で繊細な試料の高分解能の解析が可能
  • ZEISS Axio Imager Vario は DIN EN ISO 14644-1 規格に準拠。クラス5のクリーンルーム基準をクリア

Hardware Auto Focus

TFT Display, brightfield, transmitted light, red, green and blue subpixels
TFT Display, brightfield, transmitted light, red, green and blue subpixels

ZEISS Axio Imager Vario とハードウェアオートフォーカスを組合わせることで、12000 µm の範囲内で正確で高速のフォーカシングを反射試料に対して実行できます。
対物レンズの焦点深度0.3の高精度なフォーカスシステムです。反射照明、透過照明、明視野、暗視野、偏光、微分干渉、斜照明など、オートフォーカスを様々なアプリケーションに活用してください。

Applications

Wood, Reflected light Darkfield, EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0,30
Wood, Reflected light Darkfield, EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0,30
Circuit Board, Reflected light Brightfield, EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0,13
Circuit Board, Reflected light Brightfield, EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0,13
Wafer, Reflected light, Darkfi eld EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95
Wafer, Reflected light, Darkfi eld EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0,95
Monocrystalline Silicon Solar Cell, Reflected light, C-DIC, EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
Monocrystalline Silicon Solar Cell, Reflected light, C-DIC, EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

Downloads

ZEISS Axio Imager Vario

Examine Large Specimens – Automated and Compatible with Clean Rooms

ページs: 24
ファイルサイズ: 7837 kB

Application Note: ZEISS Axio Imager.Z2 Vario

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ページs: 6
ファイルサイズ: 2026 kB

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