3D SM

3D SM

3次元サーフェスモデリング

3DSM

SEM 2次元画像を3次元画像に再構築

走査電子顕微鏡があらゆる試料の2次元画像を測定、解析します。

3DSM でシステムを拡張し、試料表面を3次元解析します。コンピュータベースのアプリケーション ZEISS 3DSM は、SEM の AsB-Detector 信号から表面の完全な立体再構築をすることで、高さ情報を提供します。

特長

3DSM

  • AsBまたは4QBSDの検出器を装備した電子顕微鏡で検査された試料の3D表面再構築
  • リアルタイムの3Dイメージングのため、またはスタンドアロンモードで操作するためのSmartSEM インライブモードと3DSMを組み合わせて保管されたプロジェクトファイルを視覚化
  • ライブモードでリアルタイムの操作が可能。再構築時間 < 1s

 

3DSM Metrology

  • MERLIN FE-SEM を 3DSM Metrology でアップグレードしルーチン検査の規格である ISO 25178、 DIN、ASMEto 等に準拠した自動測定とドキュメンテーション
  • 表面を3D解析し完全な測定記録を作成
  • ステップ高さ、距離、ナノ輪郭、粗さおよび波動性、粒子および粒度のようなパラメーターで表面とプロファイルの特性評価
  • 完全にトレーサブルな測定レポートを作成

ダウンロード

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3DSM

3D Surface Modelling

ページs: 6
ファイルサイズ: 426 kB

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Technical Note

The Real Time 3DSM Solution for the ZEISS GeminiSEM Family

ページs: 6
ファイルサイズ: 2130 kB