Atlas 5 | ZEISS

ZEISS Atlas 5

Master Your Multi-scale Challenge

画像取得がかつてないほど簡単に

ZEISS Atlas 5 は仕事の負荷を減らします。様々なスケール、形式の画像で試料自体に相関する包括的な環境を構築します。

パワフルなハードウェアとソフトウェアのパッケージで、ZEISSの走査電子顕微鏡（SEM）と集束イオンビームSEM（FIB-SEM）の可能性を拡張します。どのようなソースの画像でも（例：光学顕微鏡やX線顕微鏡）効率的なナビゲートと相関ができます。ハイスループットと自動化された広視野イメージングをフルに活用してください。独特のワークフローにより、試料自体を深く理解できるようになります。

モジュール構造をしているため、Atlas 5 は材料研究やライフサイエンス研究のニーズに合わせてカスタマイズできます。

特長

Easy-to-use, workflow-oriented GUI for automated imaging.

イメージング自動化のための操作が簡単でワークフロースタイルのGUI

EM画像の取得がかつてないほど簡単で素早く

何時間でも何日でもオペレータの手を煩わせることなく、2Dあるいは3Dのナノスケール電子顕微鏡（EM）画像を撮影することが可能
何千もの試料から一枚ずつの画像を収集したり、何千もの隣接する画像からなるモザイクで広範囲の画像を取得
Atlas 5 は、一貫し再現性のある結果のため、高度なプリセットとカスタマイズ可能なプロトコルを用い、自動の画像取得を効率化

Light microscope and SEM images of an integrated circuit

Atlas 5 の相関ワークスペースで構築された、集積回路の光学顕微鏡とSEMの重ね合わせ画像

様々なソースの画像を相関

多種のソースの画像を統合します。 Atlas 5 のワークスペースでは相関が簡単にできるようになっています。試料の全体像からナノスケールの細部までズームすることが可能です。
複数のソースからの画像を効率的に解析し、相関します。 Atlas 5 はSEM、FIB-SEM、X線、光学顕微鏡などの画像に加えて、どのような光学的な画像（例：デジタルカメラ等）にとってもデータのハブとして機能します。
Atlas 5 の試料を中心にしたワークスペースで、継ぎ目のない、多様なマルチスケールの画像を構築できます。

植物組織の3Dイメージ。
資料ご提供：J. Sherrier, J. Caplan and S. Modla, University of Delaware, USA.

独自のワークフロー構築で試料を深く理解

Atlas 5 のグラフィカルユーザインタフェースを使って２Dおよび３Dで試料を深く理解
単純なワンステップのタスクから複雑な実験まで、的確にカスタマイズしたワークフローをデザイン
洗練されたワークフロー環境が、自動撮影の設定から画像処理、カスタマイズしたエクスポート、そして解析までガイド

テクノロジー

広視野モザイク画像を構築

Atlas 5 は、16ビットスキャンジェネレータや高性能のシグナル取得ハードウェアを、ZEISS 電子顕微鏡用の画像処理・機器制御ソフトウェアとつなぎます。デュエルタイム幅が100ナノ秒から 100秒以上まで、100ナノ秒毎に増分可能で、SEMで最大 32k × 32k ピクセル、FIB-SEM で最大 40k × 50k ピクセルの画像取得が可能です。保存される画像の階調は 8 または 16 ビットとなります。

特長：

より少ないタイル画像で計算処理の複雑さを低減
ステージ移動の遅れや、「損失」となるオーバーラップ部分が減少
画像の「継ぎ目」となるオーバーラップ部分を減らすことにより、ビームのダメージを軽減し、試料の劣化を緩やかに

画像の取得がかつてないほど簡単に

関心領域を正確に定義し、あらかじめ設定したイメージングのプロトコルで関心領域をスキャンするだけです。理想的なイメージング条件下でのプロトコル開発により、再現性のある結果を得られます。
高性能のオートフォーカスと自動非点補正ツールにより長時間の画像取得でもシャープな画像をキープします。
いつでも、どこでも必要な時にイメージングが可能です。： Atlas 5 は異なる装置での様々なセッションをサポートします。
Atlas 5 の試料主体の相関ワークスペースでの相関イメージ　－　異なる装置からの2D画像および3Dボリュームデータを統合します。
光学顕微鏡、X線顕微鏡、電子顕微鏡、FIB-SEMのデータを取り込み位置合わせをし、試料に一貫した画像を構築します。

X線顕微鏡との相関でFIB-SEMでの表面下ターゲットを狙う

ZEISS のX線顕微鏡によるボリュームスキャンデータとFIB-SEMで可視化した表面データを相関します。
X線顕微鏡のデータを用いて、試料表面下の領域をFIBのターゲットとして正確に特定 -そのままでは視認できなくても狙えます。
そして ZEISS FIB-SEM でそれらの領域に確実にナビゲートします。

モジュール

ZEISS Atlas 5 の様々な構成

ZEISS Atlas 5 のモジュール、その特長と組合わせをご紹介します。 Atlas 5 オプションが ZEISS のSEMとFIB-SEMの能力を拡張します。モジュールの追加と組合わせで導入効果を高めることができます。

Atlas 5 には Atlas 5 Base が必要です。 Advanced Toolkit はオプションの Array Tomography、3D Tomography、NPVE Advanced ソフトウェアモジュールに必要です。 Advanced Toolkit のオフラインモジュールには Atlas 5 Base のオフラインが含まれています。

Atlas 5 Base

ワークフローに基づいたハイスループットの画像取得プラットフォーム / 異なる装置、検出器、セッションからの画像を単一の相関ワークスペースで融合 / 1枚の背景と1枚のオーバーレイ画像のインポート(BMP, JPG, TIF, CZI, TXM) / プロトコルに基づいた自動２D取得 / 広い視野の保存：最大32k x 32k、100ns、8bit/16bit、2 チャンネル / xROIイメージング（正確な関心領域） / 2Dモザイクのマニュアルスティッチング

Advanced Toolkit

複数のバックグラウンドとオーバーレイ画像のインポート / Advanced Image Correction (画像補正：階調、動径、チャンネルごとの補正) / 高性能自動スティッチング / 動画にエクスポート / ウェブ上でのデータ交換用にブラウザベースのビューワーへのエクスポート/ 画像取得毎に理想的なプロトコル / マルチチャンネルデータをチャンネル単位、あるいはブレンドしてエクスポート / ガイド付きのワークフローによる統合された画像のレビュー / 2D SEM データの効率的なレビューと任意の領域の自動的な再撮影

Array Tomography

アレイトモグラフィー設定用ツール：切片を定義するための Clone Tool、自動で切片を定義する Snap Section ツール、効率的に副次領域を切片間で定義する Site Management 機能、スタック画像のビューワーとエクスポートオプション

3D Tomography

自動で試料調整する3D FIB-SEM画像取得エンジン、ボリュームイメージングからの関心領域 (xROI) の抽出、高性能の試料トラッキング、切片厚のトラッキング、ドリフトの予測補正及び自動チューニング、 FIB-SEM スタック画像を位置合わせ、トリミング、エクスポートを行うビューワー

NPVE Advanced (Advanced Nanopatterning & Visualization Engine)

幾何学的パターニングとパラメータの高性能制御、イオン及び電子ビームによるパターニングとイメージングを完全にサポートするビーム制御、幅広い条件下での安定した切削と沈着を行うため、ビームとGISパラメータを高度に制御する操作レシピ、実験に最適化された機器操作、３Dプロファイル、そしてアレイ構築、パターニングをサポートするCADファイル（GDSII, DXF）インポート