ZEISS Atlas 5 – マルチスケールにおける課題を克服
ソフトウェア

ZEISS Atlas 5

マルチスケールにおける課題を克服

試料中心の相関環境で、包括的なマルチスケール、マルチモーダル画像を作成しましょう。Atlas 5は、ZEISSの走査型電子顕微鏡(SEM)および集束イオンビームSEM(FIB-SEM)の能力を拡張する、強力かつ直感的なソリューションです。光学顕微鏡やX線顕微鏡など、あらゆるソースの画像を効率的にナビゲートし、相関させることができます。モジュール構造により、ナノパターニングやアレイトモグラフィーなど、材料やライフサイエンス研究の日常的なニーズに合わせてAtlas 5を調整することが可能です。

  • ZEISS SEM、FE-SEMおよびFIB-SEMによる広域イメージング
  • これまで以上に簡単かつ迅速に、ナノスケールのEM画像を取得
  • 複数のソースで取得した多次元画像の相関付け
  • Thin & Fast TomographyとTrue-Zを用いた3Dトモグラフィーによって、高精度のZを達成
  • ワークフローの中心に試料が配置されたGUIの相関ワークスペースで作業
自動イメージングのワークフローに沿った使いやすいGUI。

EM画像の取得が

これまで以上に簡単・迅速に

  • 2Dまたは3Dのナノスケール電子顕微鏡(EM)で一連の大容量画像を、オペレーターの監視なしに数時間または数日間に渡って取得
  • 数千以上の試料のシングル画像を収集したり、数千もの隣接画像からなるモザイクで広いエリアをカバーすることが可能
  • Atlas 5は自動画像取得を合理化し、高度なプリセットやカスタマイズ可能なプロトコルを使用して、一貫した再現性のある結果を提供

 

自動イメージングのワークフローに沿った使いやすいGUI。

Atlas 5の相関ワークスペースで、集積回路の光学顕微鏡画像とSEM画像を合成。

複数のソースの

画像を相関

  • Atlas 5の相関ワークスペースで、複数のソースの画像を簡単に統合。試料のマクロ全体像から、ナノスケールの細部までズームアップ
  • 複数のソースの画像を効率的に解析/相関。Atlas 5を、SEM、集束イオンビームSEM、X線、光学顕微鏡で取得した画像およびデジタルカメラなどの光学画像のためのデータハブとして活用
  • 試料中心のワークスペースにより、試料のマルチモーダルかつマルチスケール画像をシームレスに構築

 

Atlas 5の相関ワークスペースで、集積回路の光学顕微鏡画像とSEM画像を合成。

固体酸化物形電解セル、充放電後の変化、3D断層X線写真、3Dの画像/EDSデータ、ZEISS FIB-SEM、Atlas Analytics。試料ご提供:M. Cantoni, EPFL, CH

独自のワークフローで

より多くの情報を取得

  • Atlas 5のグラフィカルユーザーインターフェースにより、2Dおよび3Dで試料を完全に理解
  • シンプルなワンステップ作業から複合的な実験に至るまで、実験の複雑さに合わせたワークフローを設計可能
  • 自動取得の設定から、後処理、カスタマイズされたエクスポート、そして解析まで、洗練されたワークフロー環境がユーザーをガイド

 

固体酸化物形電解セル、充放電後の変化、3D断層X線写真、3Dの画像/EDSデータ、ZEISS FIB-SEM、Atlas Analytics。試料ご提供:M. Cantoni, EPFL, CH

テクノロジー

生産性を最大化

生産性を最大化

  • 16ビットスキャンジェネレーター、デュアルスーパーサンプリング信号収集ハードウェアと、画像処理・制御ソフトウェアを併用
  • 最大32,000 x 32,000ピクセルのSEM画像と最大40,000 x 50,000ピクセルのFIB-SEM画像を取得。
  • 100ナノ秒以上100秒未満の滞在時間を用いて、100ナノ秒刻みで画像取得を調整可能
  • 8または16ビットの輝度で画像を保存
広域モザイク画像の作成

広域モザイク画像の作成

  • 実際の形状に合わせてROIを定義し、少ないタイル数でモザイクを取得することで、取得時間や計算量を削減
  • ステージの動作遅延と、オーバーラップによって「失われる」各画像の面積割合を低減
  • オーバーラップする「継ぎ目」の数を最適化することで、試料のビームダメージや劣化を最小限に抑制
画像取得がかつてないほど簡単に

画像取得がかつてないほど簡単に

  • 事前設定されたイメージングプロトコルを用いて正確な関心領域を定義し、指定した領域のみをスキャン
  • 理想的なイメージング条件でプロトコルを開発することで、再現性のある結果を実現
  • 高度なオートフォーカス・オートスティグメンテーションツールにより、長時間の取得でもシャープな画像を維持
  • いつでもどこでも、必要なときに試料をイメージング可能:Atlas 5が複数の機器での様々なセッションをサポート
  • Atlas 5の試料中心の相関ワークスペースでは、複数の機器で取得した2D画像と3Dボリュームデータを統合して画像を相関可能
  • 光学顕微鏡、X線顕微鏡、電子顕微鏡、FIB-SEM顕微鏡からデータをインポートして配置し、試料の一貫したシングル画像を作成
FIB-SEMでX線顕微鏡と相関し、表面下の部位をターゲティング

FIB-SEMでX線顕微鏡と相関し、表面下の部位をターゲティング

  • ZEISS X線顕微鏡のボリュームスキャンと、FIB-SEMで視覚化された表面形状を相関付け
  • X線データを使用して、FIBで正確に目標を定めた部位の表面下のin situでは目視できない特徴を3Dで仮想的に特定
  • ZEISS FIB-SEMを使用して、それらの領域へと確実にナビゲート

モジュール

Atlas 5が提供する様々な機能

Atlas 5が提供する

様々な機能

Atlas 5とそのモジュール、機能、設定可能性をご確認ください。Atlas 5をオプションで追加することで、ZEISS SEMおよびFIB-SEMの機能を拡張できます。他のモジュールにおける高度な機能のメリットと、それらをどのように組み合わせられるかをご覧ください。Atlas 5モジュールには、Atlas 5が必要です。オプションの解析モジュールには、ZEISSのOxford Instruments社製ハードウェア・ソフトウェアパッケージが必要です。FIB-SEMの解析モジュールには、Atlas 5 3D Tomographyが必要となります。

Array Tomography - アレイトモグラフィー設定のための各種ツール

Array Tomography

アレイトモグラフィー設定のための各種ツール

  • Clone Toolで、あらゆるセクションのイメージング部位を簡単に定義
  • Snap Sectionツールで、セクションの形状を自動検出
  • 取得部位を効率的に管理し、複数のセクションに渡ってサブサイトを定義することも可能
  • 画像スタックエクスポートツールですべての画像を3Dボリュームにまとめ、画像スタックビューアで探索
  • 3D Stackによる配置や画像補正のメリットを活用
北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片。
北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片。

北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片。

北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片。

強化されたブラウザベースのViewer Export Module

解析、発表および結果の共有、さらには同僚や学生のトレーニングに使用可能です。
  • 単一または複数のデータセットを、通常のウェブブラウザで閲覧できる形式にエクスポート
  • 測定や注釈付けも可能
  • プレゼンテーション用に、データに基づいてキュレーションされたスライドショーを作成し、PDFファイル、画像、スペクトル、映像、音声ファイルなどの追加情報を埋め込み可能
  • 同僚や学生、同分野の研究者が最高の解像度で自由にデータセットを探索でき、フラッシュドライブを交換したり、サーバーでのホスティングによって簡単にデータを共有することが可能
  • ユーザーは、スライドショーを閲覧し、いつでも一時停止して自分でデータを探索することが可能
自動化されたFIB-SEMのナノトモグラフィー:xROIとKey Framesを使用して、マルチレゾリューションデータセットを同時に取得。ご提供:K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA
自動化されたFIB-SEMのナノトモグラフィー

自動化されたFIB-SEMのナノトモグラフィー:xROIとKey Framesを使用して、マルチレゾリューションデータセットを同時に取得。ご提供:K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA

自動化されたFIB-SEMのナノトモグラフィー:xROIとKey Framesを使用して、マルチレゾリューションデータセットを同時に取得。ご提供:K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA

3Dトモグラフィー

"Thin & Fast Tomography"と"True-Z"

以下のような3次元でのトモグラフィーが可能です。

  • 自動試料調製機能を備えた3D FIB-SEM取得エンジンを使用して、正確な3Dビジュアライゼーションを実施
  • 断層撮影時のスライス厚を測定し、正確に制御することで、"True-Z"情報を取得し、正確なデータ処理を実現
  • 電荷、縮小、ビームダメージに敏感な試料でも、"Thin & Fast Tomography"によって正確で連続的、均質なトモグラフィーを確保
  • xROI(正確な関心領域)、高度な試料追跡機能、ドリフト予測補正機能、オートチューニングにより、高品質なデータをより素早く取得
  • 3D FIB-SEMスタックアライメント、クロッピングを含む画像スタックエクスポートが可能なイメージスタックビューアを活用
多層金属系であるカナダ硬貨の3Dトモグラフィー。ボリューム:40 x 40 x 30 μm³およびボクセルサイズ(20 nm)³、EBSD解析。
多層金属系であるカナダ硬貨の3Dトモグラフィー。ボリューム:40 x 40 x 30 μm³およびボクセルサイズ(20 nm)³、EBSD解析。

多層金属系であるカナダ硬貨の3Dトモグラフィー。ボリューム:40 x 40 x 30 μm³およびボクセルサイズ(20 nm)³、EBSD解析。

多層金属系であるカナダ硬貨の3Dトモグラフィー。ボリューム:40 x 40 x 30 μm³およびボクセルサイズ(20 nm)³、EBSD解析。

分析

統合モジュールを用いて3D分析を行うことができます。

  • 高解像度FIB-SEMトモグラフィーの取得に、3D EDS/3D EBSD分析を追加
  • 入射電圧、滞在時間、3D空間分解能など、イメージングとマッピングの条件を別々に指定
  • 高度な取得エンジンを用いて、取得時に分析条件イメージング影条件を自動的に切り替え
  • 3Dトモグラフィーのデータセットを静止状態で取得することで、ステージを移動することなく、より安定した3D EBSDを実行
  • 柔軟なビジュアライゼーションにより、SEM画像の閲覧と元素マップの処理を同時に実行
  • 2D EDSマッピングデータをFE-SEMのワークフローに組み込み、複数の関心領域を自動的に取得
集束イオンビームでFIBグレースケールレンダリングしたシリコンにパターン形成したリンカーン像。
集束イオンビームでFIBグレースケールレンダリングしたシリコンにパターン形成したリンカーン像。

集束イオンビームでFIBグレースケールレンダリングしたシリコンにパターン形成したリンカーン像。無修正の写真をデータソースとして使用。パターン形成時間:10分

集束イオンビームでFIBグレースケールレンダリングしたシリコンにパターン形成したリンカーン像。無修正の写真をデータソースとして使用。パターン形成時間:10分

NPVE Advanced

高度なナノパターン形成/ビジュアライゼーションエンジン

NPVEでは、パターニングのジオメトリやパラメータを高度に制御できます。

  • イオンビームおよび電子ビームのフルパターニングとイメージングをサポートする、同時ビーム制御を実現
  • ビームとGISのパラメータをスマートに制御し、安定したミリングとデポジションを可能にする操作レシピを定義
  • 3Dプロファイルやアレイ構築ツールで実験デザインを最適化
  • FIB断面をより速く、より効率的に作成できる特殊なスキャン手法であるiIncluding Fastmillで、ミリング時間を最大40%短縮

アプリケーション

  • ZEISS Crossbeamを用いて取得した無鉛はんだの3D EDS断層像。
  • EDSおよびEBSDによる多層金属系の調査
  • ウマゴヤシの根粒。Atlas 5 Array TomographyでイメージングしたSEM画像。
  • 北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片
  • ラット脳血管、厚切片、SEM画像、モザイク
  • ZEISS Crossbeamを用いて取得した無鉛はんだの3D EDS断層像。

    ZEISS Crossbeamを用いて取得した無鉛はんだの3D EDS断層像。

  • EDSおよびEBSDによる多層金属系の調査

    EDSおよびEBSDによる多層金属系の調査。

  • ウマゴヤシの根粒。Atlas 5 Array TomographyでイメージングしたSEM画像。

    ウマゴヤシの根粒。Atlas 5 Array TomographyでイメージングしたSEM画像。 試料ご提供:J. Sherrier, J. Caplan and S. Modla, University of Delaware, US

  • 北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片

    北ケベックで採取した過アルカリ性花崗岩の研磨後の岩石薄片。 試料ご提供:A. Gyis, Colorado School of Mines, US

  • ラット脳血管、厚切片、SEM画像、モザイク

    ラット脳血管、厚切片、SEM画像、モザイク。Atlas 5 Array Tomography

Atlas Image Viewer
Atlas Image Viewer
Atlas Image Viewer

Atlas Image Viewer

材料/ライフサイエンス研究、半導体または考古学のデータセットを発見し、Atlas 5のブラウザベースのビューアで探索することができます。

Atlas Image Viewerについては以下を クリックしてください。

ダウンロード

    • ZEISS Atlas 5

      Your Solution for Automated Image Acquisition, Data Correlation and Multi-modal 2D & 3D Workflows

      ページ: 28
      ファイルサイズ: 8 MB
    • Visualization of gold and uranium ore-formation in the Witwatersrand ore deposit from the micro- to nanoscale

      ZEISS Atlas 5

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 3 MB
    • ZEISS Atlas 5

      Characterization of Solid Oxide Electrolysis Cells by Advanced FIB-SEM Tomography

      ページ: 7
      ファイルサイズ: 1 MB
    • ZEISS Atlas 5

      Large Area Imaging with High Throughput

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 3 MB
    • Cathodoluminescence of Geological Samples: Fluorite Veins

      ZEISS Scanning Electron Microscopes with Atlas

      ページ: 5
      ファイルサイズ: 5 MB
    • Correlative XRM-FIB/SEM

      Study of Thermoelectric Materials

      ページ: 4
      ファイルサイズ: 1 MB
    • Multi-scale Characterization of Lithium Ion Battery Cathode Material by Correlative X-ray and FIB-SEM Microscopy

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 1 MB
    • Multi-scale Correlative Study of Corrosion Evolution in a Magnesium Alloy

      ページ: 8
      ファイルサイズ: 1 MB

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