ZEISS Atlas 5

マルチスケールの課題を自在に

Atlas 5の試料を中心に置いた相関ワークスペースで、包括的なマルチスケール、マルチモーダル画像を構築できます。このソリューションによって、ZEISS SEM、FE-SEM(電界放出型走査電子顕微鏡)、FIB-SEM(集束イオンビーム)の機能を拡張できます。光学顕微鏡やX線顕微鏡など、あらゆるソースの画像を効率的にナビゲートおよび相関。ハイスループットと自動化された広域イメージングが可能です。独自のワークフローにより、サンプルを包括的に理解。そのモジュール構造により、材料科学やライフサイエンスにおける日常のニーズに合わせてAtlas 5をカスタマイズできます。

  • ZEISS SEM、FE-SEM & FIB-SEMを使って広視野イメージングを実行
  • ナノスケールの電子顕微鏡画像をこれまでよりも簡単、迅速に取得
  • 複数のシステムの多次元画像を相関
  • 独自のワークフローを構築して試料を理解
  • 相関ワークスペース、すなわち試料をワークフローの中心に置いたGUI
  • Thin & Fast トモグラフィーおよびTrue-Zを使って3Dトモグラフィーを実行し、撮影速度を上げるとともにz精度も向上

Highlights

Easy-to-use, workflow-oriented GUI for automated imaging.
Easy-to-use, workflow-oriented GUI for automated imaging.

電子顕微鏡画像をこれまでよりも簡単、迅速に取得

  • 2Dまたは3Dのナノスケール電子顕微鏡(EM)画像の大容量データセットを、数時間または数日にわたってオペレータの監視なしに自動的に取得。
  • 数千もの試料のシングル画像を取得することもできれば、数千もの隣り合う画像からなる広範囲のモザイク画像を取得することも可能。
  • Atlas 5を使って自動イメージングを最適化。カスタマイズ可能な高度な設定済みプロトコルを用いて、一貫して再現性のある結果を作成。
CrossbeamとX線顕微鏡および3Dビジュアリゼーションの相関ワークフロー

複数のシステムの画像を相関

  • 複数のシステムの画像をまとめることも、Atlas 5の相関ワークスペースなら簡単。試料全体をカバーするマクロビューから、ナノスケールの微細構造までズーム可能。
  • 複数のシステムの画像の効率的な分析と相関。Atlas 5は、SEM、FIB-SEM、X線、光学顕微鏡、およびあらゆる光学画像(たとえば、お手持ちのデジタルカメラ画像など)のデータハブになります。
  • Atlas 5の試料を中心に置いたワークスペースによって、マルチモーダルでマルチスケールのシームレス画像を構築。
固体酸化物電解セル、放充電サイクル後の変化、3Dトモグラフィー、3Dの画像およびEDSデータ、ZEISS FIB-SEM、Atlas Analyticsを使用。ご提供: M. Cantoni, EPFL, CH.

独自のワークフローを構築して試料を判断

  • Atlas 5のグラフィカルユーザーインタフェースを使って、2Dおよび3Dで試料を完全に理解。
  • シンプルなワンステップ作業であれ、複合的な実験であれ、実験の複雑さに合わせて、ワークフローを正確にカスタマイズ。
  • 洗練されたワークフローにより、自動画像取得の設定から画像処理、エクスポート、さらには分析に至るまでをサポート。

Technology

Create Large Mosaic Images

画像取得効率の最大化

  • 画像処理ソフトウェアおよび制御用ソフトウェアを搭載した、16bit スキャンジェネレータとデュアルスーパーサンプリング信号収集ハードウェアのコンビネーション。
  • SEMで最大32k x 32k ピクセル、FIB-SEMで最大40k x 50k ピクセルの画像取得が可能。
  • 画像取得では、100ns 刻みで、100ns から100s 以上のDwell Timeを使用可能。
  • 取得した画像は、8bit または16bit のビット深さで保存可能。
SEM stitching - SEAMS with Atlas 3D

大判モザイク画像によるダメージ最小化

  • 実形状に適したROI(関心領域)を定義することで大判モザイク画像のタイル数を削減し、画像取得の所要時間と演算処理量を効率化。
  • ステージの動作遅延および各タイル画像のオーバーラップによる「損失」面積比を削減。
  • オーバーラップの「継ぎ目」の数を最適化し、試料のビームによるダメージと劣化を最小化。
Acquire Images Easier than Ever Before

画像取得がより容易に

  • 正確な関心領域を定義し、事前定義された撮像プロトコルに従って、定義した領域のみをスキャン。
  • 理想的な撮像条件下での撮像プロトコルの開発による結果の再現性。
  • 高度な自動焦点調整機能および自動収差調整機能による、長時間撮像時の画質維持。
  • いつでもどこでも必要に応じて試料を撮影: Atlas 5 は、複数の機器、複数のセッションに対応。
  • Atlas 5のサンプル基準相関ワークスペースによる相関画像 - 複数の機器で取得した 2D 画像および 3D ボリュームデータを紐付け可能。
  • 光学顕微鏡、X線顕微鏡、電子顕微鏡および集束イオンビーム顕微鏡から試料の撮影データをインポートし、位置を合わせ、一貫性のある一枚の画像に集約。
Correlate with X-ray Microscopy to Target Sub-Surface Sites in Your FIB-SEM

FIB-SEM顕微鏡のターゲット位置を決めるために、X線顕微鏡データと相関

  • ZEISS X線顕微鏡のボリュームスキャンデータと、FIB-SEM顕微鏡で観察できる表面特性とを相関。
  • FIBのターゲット位置を正確に決めるために、X線顕微鏡データを使って、3Dの深部の関心領域を特定。
  • それから、FIB-SEM顕微鏡を使ってその領域にナビゲート。

Modules

Atlas Correlative Workflow

ZEISS Atlas 5の多彩なモジュール

ZEISS Atlas 5のモジュール、およびその機能や構成をご紹介します。Atlas 5のオプションを使って、ZEISS SEMおよびFIB-SEMの機能を拡張できます。この追加モジュールの高度な機能を組み合わせる方法をご紹介します。これらのモジュールを使うには、すべてAtlas 5が必要になります。また、オプションの分析モジュールには、ZEISS Oxford Instrumentのハードウェアとソフトウェアパッケージが必要になります。さらに、FIB-SEM顕微鏡で分析モジュールを使用するには、Atlas 5 3Dトモグラフィーが必要になります。

Array Tomography

Array Tomography

アレイトモグラフィーの設定のために、次のツールをご利用いただけます:

  • Cloneツールを使用して、全ての切片のイメージング部位を簡単に設定
  • Snap Sectionツールを使用して、切片の形状を自動的に検出
  • イメージング部位を効率的に管理し、切片全体でサブの部位を設定することも可能
  • Image Stack Exportツールを使用して、すべての画像から3Dボリュームを構築、Image Stack Viewerを使ってそれらを表示
  • 3Dスタックアライメントおよび画像補正機能
Polished petrographic thin section, a Peralkaline granite from Northern Quebec
研磨された岩石切片、北ケベックのペラルカリ花崗岩

ブラウザベースのViewer Exportモジュール

結果を分析、発表し、同僚や学生と共有:

  • 単一または複数のデータセットを、通常のウェブブラウザで閲覧できるフォーマットにエクスポート
  • 測定や注釈が可能
  • プレゼンテーション用に、データからスライドショーを作成。PDFファイル、画像、スペクトル、動画、あるいは音声データなどの追加情報を添付
  • 同僚や学生等が最高解像度で自由にデータセットを閲覧。データをフラッシュドライブで交換、またはサーバーにアップロードするなどして、簡単に共有可能。
  • スライドショーを続けて閲覧することもできれば、好きなタイミングで停止して自分でデータを確認することも可能
Automated FIB-SEM Nanotomography: Acquire simultaneous multi-resolution datasets using xROI and Key Frames.
FIB-SEMによる自動ナノトモグラフィー:xROIとキーフレームを使って、複数の分解能のデータセットを同時に取得。ご提供: K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA

Thin & Fast トモグラフィーおよびTrue-Zを用いた3Dトモグラフィー

3Dでトモグラフィーを実行:

  • 自動試料調製と3D FIB-SEM画像取得エンジンを使って、正確な3Dビジュアリゼーションを実現
  • トモグラフィー実行中にスライス厚を測定および正確にコントロール。「True-Z」情報を取得することによって、データを正確に処理。
  • 「Thin & Fast トモグラフィー」を使って、帯電、収縮、あるいはビームのダメージを受けやすい試料に対し、正確で持続性のある均質なトモグラフィーを保証
  • xROIs(Exact regions of interest)、Advanced Sample Tracking、Predictive Drift Correction、Auto-tuning機能を使って、高品質なデータを迅速に取得
  • 3D FIB-SEM Stack Alignment、Image Stack Export機能付きのImage Stack Viewer
3D tomography of a multi-layered metal system, a Canadian coin, studied volume: 40 x 40 x 30 μm³ and the voxel size (20 nm)³, EBSD analysis.
多層金属の3Dトモグラフィー、カナダコイン。ボリューム:40 x 40 x 30 μm³、ボクセルサイズ (20 nm)³、EBSD分析。

Analytics

統合モジュールを使って3Dで分析を実行:

  • 高分解能FIB-SEMトモグラフィーに、3D EDS/3D EBSD分析機能を追加
  • 加速電圧、デュエルタイム、3D空間分解能など、イメージングとマッピング条件を個別に設定
  • 高度な取得エンジンを使って、画像取得中に分析条件とイメージング条件を自動的に切り替え
  • より安定した3D EBSD分析のために、ステージを動かさずに、3Dトモグラフィーデータセットを取得
  • フレキシブルなビジュアリゼーションにより、同時にSEM画像の表示と元素マッピングの処理が可能
  • 2D EDS マッピングをFE-SEMのワークフローに組み込むと、複数の関心領域を自動的に取得可能
A FIB grayscale rendering of the Lincoln Memorial is patterned into silicon with the FIB beam.
リンカーン像のFIBグレースケールレンダリング、FIBビームでシリコンにパターン化。データソースとして未加工の写真を使用。パターン化時間:10分。

NPVE Advanced (Advanced Nanopatterning & Visualization Engine)

NPVEを使って、パターニング形状とパラメータを高度にコントロール:

  • パターニングおよびイメージングの完全サポート。イオンビームと電子ビームの同時ビームコントロール。
  • ビームとGISパラメータのスマートコントロールのための操作レシピを設定。一貫したミリングとデポジションを保証。
  • 3DプロファイルおよびArray Builderツールを使って、実験デザインを最適化
  • FIB断面をより迅速かつより効率的に調製するための特別なスキャニングストラテジー、iIncluding Fastmillを用いることで、最大40%ミリング時間を節約

Applications

ZEISS Crossbeamを用いた鉛フリーはんだのトモグラフィーの3D EDS。EDSデータ:Sn(スズ)マトリクス内の銅(Cu)および銀(Ag)の粒子。ZEISS FIB-SEMおよびAtlas 5 Analyticsを用いて6kVで画像取得。ご提供: M. Cantoni, EPFL, CH.
Blood vessels of rat brain, thick section, SEM images, mosaic. Atlas  5 Array Tomography.
ラットの脳血管、厚切片、SEM画像、モザイク。Atlas 5アレイトモグラフィー。
ウマゴヤシ、根粒。Atlas 5アレイトモグラフィーによるSEM画像。ご提供:J. Sherrier, J. Caplan, S. Modla, University of Delaware, USA.
Polished petrographic thin section, a Peralkaline granite from Northern Quebec
研磨された岩石切片、北ケベックのペラルカリ花崗岩。ご提供: A. Gysi, Colorado School of Mines; US.
多層金属の3Dトモグラフィー、カナダコイン。ミリング、イメージング、EBSD(本ビデオの上部)およびEDS(下部)を組み合わせた典型的なFIB-SEMワークフロー

Atlas Image Viewer

Atlas 5

材料科学および生命科学の研究、半導体、あるいは考古学関連のデータセットをZEISS Atlas 5のブラウザベースのビューワーでご覧いただけます。

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Downloads

ZEISS Atlas 5

Your Solution for Automated Image Acquisition, Data Correlation and Multi-modal 2D & 3D Workflows

ページs: 28
ファイルサイズ: 8845 kB

ZEISS Atlas 5 Array Tomography

Image Your Serial Sections Fast and Efficiently – with Nanoresolution

ページs: 13
ファイルサイズ: 4288 kB

Application Note

Visualization of gold and uranium ore-formation in the Witwatersrand ore deposit from the micro- to nanoscale

ページs: 6
ファイルサイズ: 3166 kB

White Paper: ZEISS Atlas 5

Characterization of Solid Oxide Electrolysis Cells by Advanced FIB-SEM Tomography

ページs: 7
ファイルサイズ: 1441 kB

White Paper: ZEISS Atlas 5

Large Area Imaging with High Throughput

ページs: 6
ファイルサイズ: 4056 kB

Aplication Note: ZEISS Correlative Microscopy

Investigating Structure-property Relationships in a Carbon-fiber Composite

ページs: 8
ファイルサイズ: 3204 kB

Application Note:

Cathodoluminescence of Geological Samples: Fluorite Veins

ページs: 5
ファイルサイズ: 5476 kB

Application Note: Multi-scale Characterization of Lithium Ion Battery Cathode Material

Correlative X-ray and FIB-SEM Microscopy

ページs: 6
ファイルサイズ: 1429 kB

Application Note: Multi-scale Correlative Study

Gain insights into corrosion evolution in a magnesium alloy using Atlas 5 that efficiently links and navigates between in situ sub-micron X-ray microscopy, nanoscale X-ray microscopy and FIB-SEM tomography

ページs: 8
ファイルサイズ: 1766 kB

Correlative XRM-FIB/SEM

Study of Thermoelectric Materials

ページs: 4
ファイルサイズ: 1067 kB

ZEISS Microscopy Solutions for Oil & Gas

Understanding reservoir behavior with pore scale analysis

ページs: 8
ファイルサイズ: 7877 kB

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