ZEISS SmartPI

Smart Particle Investigator

自動SEM粒子分析・分類ソリューション

粒子の検出、分析および分類

Energy dispersive X-ray (EDS) classification of particles
Energy dispersive X-ray (EDS) classification of particles

Smart Particle Investigator(SmartPI)は、高度な粒子分析および分類ソリューションであり、走査型電子顕微鏡を工業用清浄度検査や鉄鋼業界向けのターンキーソリューションにします。SmartPIは、SEM制御、イメージプロセッシング、および元素解析(EDS)のすべてを、単一のアプリケーション内に組み込んでいます。

  • 単一のソフトウェアでSEM画像およびEDS分析の両方をコントロール
  • 自動化された、無人の粒子分析を実行
  • 再現性のあるデータと業界標準に準拠した報告書を作成
  • SmartPIをZEISSの光学顕微鏡粒子分析ソリューションと組み合わせて、相関ワークフローを構成
  • グローバルなZEISSサービスとシステム全体のサポートを活用可能
  • ISO 16232 / VDA 19に準拠

業界のニーズに的確に対応

SmartPIは、強力かつ使いやすい粒子識別および分類システムを特に必要としていた自動車部品のグローバルサプライヤーと密接に協力して開発されました。これは、現行の工業用洗浄度解析の要件をみたすというだけでなく、オペレータが顕微鏡のエキスパートではない環境や、世界中の多数のサイトにソリューションが展開されている場合の、ユーザビリティの懸念についても柔軟に対応できることを意味します。

The Power of Simplicity

SmartPIの自動化により顕微鏡操作が簡素化されます。正確で優れた情報を得るために、オペレータが顕微鏡のエキスパートである必要はありません。

Intelligent Particle Detection

SmartPIは洗練された境界粒子ステッチングアルゴリズムを使用して、粒子データセット内の切断された粒子を含む複数の視野にわたって整列された粒子を検出し、特性評価し、分類します。これは、より大きな粒子が統計から排除されないために特に重要であり、洗浄度や品質分析の結果に影響します。

A Fully Integrated Solution

SEM画像とEDS分析の両方をパソコン上の単一のソフトウェアで制御します。ZEISS SmartPIはすべてのデータを一緒に保有し、SEMとEDSの両方のデータの整合性と効率的なデータの呼び出しを保証します。EDSシステムがEDSサプライヤから供給される場合であっても、SmartPIシステム全体は、グローバルなZEISSサービスチームおよびアプリケーションチームによってサポートされ、すべてのカスタマーケアを1つのルーフのもとに保ちます。

SmartPI at Work

Energy calibration of EDS detector
Energy calibration of EDS detector

Auto-calibration Procedures

SmartPIは各自動実行の前に、自己診断およびオートキャリブレーションを定期的に実施します。これにより、システムの安定性が確保され、正確で再現可能な結果が得られます。自動運転中に中断が発生した場合、例えばフィラメント交換が必要な場合、自動回復プロセスが開始されます。

Morphological and Chemical Classification
Morphological and Chemical Classification

Morphological and Chemical Classification

SmartPIは、高度なイメージプロセッシングおよび解析技術を用いて、検出された各粒子について様々な形態学的特性を測定します。続いて、EDS分析を用いて各粒子の化学組成を決定します。Spotモードまたは高度なZEISS Feature Scan Modeを用いてより速く詳細に分析します。これにより、完全な粒子形状がスキャンされ、より正確な分類結果が提供されます。

Exclusion of fibers, for example, via limitation of the parameter elongation
Exclusion of fibers, for example, via limitation of the parameter elongation

Measurement Exclusions

粒子データセットの一貫性を保ち、スキャンの実行時間を最小限に抑えるために、SmartPIでは解析対象とみなされない粒子を、以降のイメージと元素解析から除外できます。これは例えば、環境中のほこりに由来する可能性があり、製造プロセスに由来する粒子とは無関係なフィルター上の細長い繊維などが想定されます。

Stop criteria setup page
Stop criteria setup page

Advanced Stop Criteria

アドバンスドストップの基準は、自動実行があらかじめ定義された閾値に到達した際、分析の終了が可能になります。停止基準には、分析時間、カウントされた粒子またはフィールドの数、粒子サイズ、特定の分類、他の基準を指定できます。この機能は単一または複数サンプルに適用することができるため、全体の実行時間を大幅に短縮します。また live results window は、オペレータが進行状況を監視し、介入が必要かどうかを判断することができます。

Use the review mode to re-examine single particles and see all of their properties including EDS composition and material classification.
Use the review mode to re-examine single particles and see all of their properties including EDS composition and material classification.

Interactive and Retrospective Particle Classification

Review Outputモードを使用して結果を詳細に調べて分類方法を改善します。
ステージを適切な粒子の座標に戻すことによって、任意の粒子を再検査することもできます。Retrospective Analysisモードを使用すると、サンプルを再分析する必要なく、新しい分類基準を使用して現在の結果を再評価できます。

SmartPI Explorer navigation window with multi-particle view
SmartPI Explorer navigation window with multi-particle view

SmartPI Explorer

この独立したソフトウェアを使用すると、選択した個々のスペクトル、粒子画像、フィールド画像、境界粒子、または他のフィルタの結果を参照、検索できます。さらにSmartPI Explorer は、アーカイブのためのオプション、ならびに解析されたフィールドからステッチされた画像を作成するための画像モンタージュ機能が含まれています。また、SmartPI Explorerはシステムの占有時間を減らすために、オフラインで使用することもできます。

VDA 19 cleanliness report generated in SmartPI Reporter
VDA 19 cleanliness report generated in SmartPI Reporter

SmartPI Reporter

この独立したソフトウェアには、専用のレポートを作成できる多数のツールが組み込まれています。ドラッグアンドドロップコントロールを使用したり、既存のレポートテンプレートを変更して、ISOまたはVDA標準レポートを選択できます。レポートを定義したら、今後のレポート用のテンプレートとして保存が可能です。さらに、SmartPI Reporterは解析直後にレポートを作成したい場合はオンラインで、結果を後で分析する場合はオフラインで使用することができます。


Recommended SEM Platforms

EVO is the conventional SEM of choice for use in routine materials analysis or industrial quality assurance and failure analysis. With a large motorized 5 axis stage, and easy-to-use SmartSEM software, EVO offers a highly configurable imaging platform for particle analysis applications. EVO is available with variable pressure (VP), enabling the imaging and analysis of non-conductive samples, such as filters, without the necessity to apply a conductive coating, and thus leaving the filter intact for subsequent analysis using e.g. Raman or FTIR.

Sigma is the SEM of choice for users which require enhanced resolution for particle analysis in the nanometer scale range. Sigma featuring Gemini column technology, provides outstanding imaging and analytical results from a field emission scanning electron microscope (FE-SEM). The Gemini optics provides the highest resolution imaging on a platform very well suited for elemental analysis, particularly on magnetic samples.

Downloads

ZEISS SmartPI

Your Automated SEM Particle Analysis and Classification Solution

ページ: 19
ファイルサイズ: 8779 kB

ZEISS SmartPI

Automated Identification of Asbestos

ページ: 7
ファイルサイズ: 11527 kB

検索結果1 - 2の2