ZEISS SmartPI - Smart Particle Investigator
ソフトウェア

ZEISS SmartPI

Smart Particle Investigator

エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類
エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類

エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類

SEM粒子分析および分類のための自動化されたソリューション

粒子の検出・分析・分類

Smart Particle Investigator(SmartPI)は、高度な粒子分析・分類ソリューションで、走査型電子顕微鏡を産業用クリーンルームや金属・鉄鋼アプリケーションのためのターンキーソリューションへと変えます。SmartPIは、SEMの制御、画像処理、元素分析(EDS)のすべてを1つのアプリケーションに組み込んでいます。

  • SEMイメージングとEDS分析の両方を1つのソフトウェアで制御
  • 自動運転で無人粒子分析が可能
  • 再現可能なデータや、産業規格に準拠したレポートを作成
  • SmartPIとZEISS光学顕微鏡の粒子解析ソリューションを組み合わせることで、相関性のあるワークフローを構成可能
  • グローバルなZEISSサービスと、システム全体に対するサポートを活用
  • SmartPIは清浄度規格ISO 16232、VDA 19に準拠

産業界のニーズに的確に対応

SmartPIは、強力かつ使いやすい粒子同定・分類システムを特に必要としていた、自動車部品のグローバルサプライヤーとの密接な協力のもと開発されました。これは、現行の産業清浄度分析要件が考慮されていることだけでなく、すべてのオペレーターが顕微鏡の専門家ではない典型的な産業環境、およびソリューションが世界中の複数の施設に配置される場合のユーザービリティの懸念にも対処していることを意味します。

  • シンプルさが持つ力

    SmartPIによる自動化は、操作を劇的に簡素化するため、顕微鏡の専門家でなくても、優れたデータを得ることができます。同時に、経験豊富なオペレーターは、レシピを簡単に作成または修正し、特定の要件に合わせて分析ルーチンをカスタマイズ可能です。レシピ、システム設定、粒子データはすべて監査可能なデータベースに保存され、データの確認やエクスポートが簡単にできます。

  • インテリジェントな粒子検出機能

    SmartPIは、境界にある粒子の高度なスティッチングアルゴリズムを使用して、複数の視野にわたって配置された粒子(粒子データセット内の切断粒子を含む)を検出、特性評価、分類します。これは、より大きな粒子が統計から除外されないようにするために特に重要です。なぜなら、このアクションは清浄度や鋼の品質分析に有害な結果をもたらすことがあるためです。

  • 完全統合型ソリューション

    SEMイメージングとEDS分析の両方を、1台のPC上の1つのソフトウェアプログラムで制御します。ZEISS SmartPIでは、すべてのデータを統合し、SEMとEDSのデータの整合性を保証するとともに、効率的にデータを呼び出すことができます。EDSシステムをEDSサプライヤーから調達した場合でも、SmartPIシステム全体がグローバルなZEISSサービスおよびアプリケーションチームによってサポートされ、すべての顧客ケアが同じ傘の下で行われます。

SmartPIのアプリケーション例

  • Auto-calibration Procedures
  • Morphological and Chemical Classification
  • Exclusion of fibers, for example, via limitation of the parameter elongation
  • Stop criteria setup page
  • Use the review mode to re-examine single particles and see all of their properties including EDS composition and material classification.
  • SmartPI Explorer navigation window with multi-particle view
  • VDA 19 cleanliness report generated in SmartPI Reporter
  • 自動キャリブレーション手順
    自動キャリブレーション手順

    自動キャリブレーション手順

    自動キャリブレーション手順

    SmartPIは、自動運転の前と運転中に、定期的に自己診断と自動キャリブレーションのルーチンを実行し、これにより、システムの安定性と、正確かつ再現可能な結果が実現します。自動運転が中断された場合(フィラメントの設置が必要な場合など)は、自動リカバリー処理が開始されます。

  • 形態学的・化学的分類
    形態学的・化学的分類

    形態学的・化学的分類

    形態学的・化学的分類

    SmartPIは、高度な画像処理・解析技術を採用し、検出された粒子の様々な形態的特徴を測定します。その後、EDS分析を用いて、各粒子の化学組成を判定します。さらに、Spotモードで迅速に粒子を分析したり、高度な機能であるScanモードでより詳細に分析することができます。こうして粒子の形状を完全にスキャンすることで、より正確な分類が可能になります。

  • 例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます
    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    測定値の除外

    粒子データセットの一貫性を保ち、運転時間を最小限に抑えるため、SmartPIでは、重要でないと判断された粒子を、その後の画像や元素分析から除外することができます。例えば、フィルターに付着した細長い繊維は、空気中の塵に由来する可能性があるため、製造工程で生じた粒子とは無関係であると考えられます。

  • 停止基準設定ページ
    停止基準設定ページ

    停止基準設定ページ

    停止基準設定ページ

    高度な停止基準

    各種の高度な停止基準を設定することで、事前に定義された閾値に達した際に自動で分析を終了することができます。停止基準には、分析時間、計数された粒子・視野数、粒径、特定の分類、または指定可能な他の基準が含まれます。この機能は、単一または複数の試料に適用可能なため、全体的な運転時間を大幅に短縮することができます。また、オペレーターはライブ結果ウィンドウから進捗状況を確認し、介入の必要性を判断可能です。

  • レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。
    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    インタラクティブかつ遡及的な粒子分類

    Review Outputモードを使用して、結果を詳細に確認することで、分類レシピを洗練させ、改善することができます。また、ステージを適切な粒子の座標に戻すことで、任意の粒子を再調査することも可能です。Retrospective Analysisモードでは、試料を再分析することなく、新しい分類基準を用いて既存の結果を再評価できます。

  • SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorer

    このスタンドアローンアプリケーションでは、個々のスペクトル、粒子画像、視野画像、境界域の粒子、または選択した他のフィルターの結果を閲覧または検索できます。また、SmartPI Explorerには、アーカイブオプションや、解析した視野からスティッチングした画像を作成する画像合成機能があります。Explorerはオフラインで使用可能で、解析のための時間を確保することができます。

  • SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート
    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporter

    このスタンドアローンアプリケーションには、専用のレポートを作成するためのツールが多数搭載されています。ドラッグ&ドロップ操作、既存のレポートテンプレートの修正、ISOやVDAなどの規格用レポートの選択などが可能です。レポートを選択したら、今後の使用に備えてそのレポートをテンプレートとして保存できます。すぐにレポートを作成する場合はSmartPI Reporterをオンラインで、結果を後で分析する場合はオフラインでご使用ください。

推奨SEMプラットフォーム

EVO走査型電子顕微鏡

EVO走査型電子顕微鏡

EVOは、日常的な材料分析、産業品質保証および不良解析に最適な従来型SEMです。大型電動5軸ステージと使いやすいSmartSEMソフトウェアにより、EVOは粒子解析アプリケーションのための高度に設定可能なイメージングプラットフォームを提供します。EVOには可変圧力(VP)機能があり、導電性コーティングを施すことなく、フィルターなどの非導電性試料のイメージングと分析を可能にします。また、ラマンやFTIRなどを使用したその後の分析用に、フィルターをインタクトな状態で残すことができます。

Sigma電界放出型走査電子顕微鏡

Sigma電界放出型走査電子顕微鏡

Sigmaは、ナノメートルスケールの粒子分析に高い分解能を必要とするユーザーに最適なSEMです。Geminiカラムテクノロジーを採用したSigmaは、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)による優れたイメージングと分析結果を提供します。Gemini光学系により、元素分析、特に磁性試料の分析に非常に適したプラットフォームで最高レベルの分解能のイメージングが実現します。

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    • ZEISS SmartPI

      Your Automated SEM Particle Analysis and Classification Solution

      ファイルサイズ: 8 MB

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