SmartSEM

SmartSEM

SEM、FE-SEM、FIB-SEM用ソフトウェアソリューション

SmartSEM

全ての操作パラメータを制御する SmartSEM

使用するレベルに合わせて、 GUI の操作モードを選べます。

SmartSEMはフル制御可能な操作パラメータで、ソフトウェア制御のレベルを設定可能。また、使用頻度が低い場合にそなえて、操作の簡便性と生産性向上のために、主要な制御機能を一本のコントロールバーにまとめた簡潔な GUI を備えています。

追加モジュールで、いつでも簡単に画像の取得、処理、解析、記録等の機能を拡張できます。

SmartSEM

  • 画像取得中または保存してある画像上で、さまざまなシグナルの処理が可能
  • 注釈および測定能力をフルに活用
  • 将来的に再度読み込みを行うために、いつでも操作条件を保存
  • 250種類以上もの装置制御機能にアクセスできる Macro-Editor
  • 包括的なステージ制御からの大きなメリット

 

 

SmartPI

  • SmartPI モジュールの使用で、粒度、形状、形態、元素組成を半自動的に定量化、分類、測定
  • 操作、コンフィギュレーション、レポートの用途に合わせて、異なるモード間の切り替えが容易
  • Production mode: SmartPI が自動で操作条件を設定し、選択した分析ルーチンに従って測定を開始
  • Configuration mode: SEM 設定から粒子の分類、レポートまで、関連する項目を簡単に設定
  • Report mode: シングルフレームで異常調査も有する対話式解析をレポートやプロセスデータを作成し、実行します。

 

SmartBrowse

  • 異なる倍率で多くの検出器から獲得した画像を組み合わせて、試料と照らし合わせて大きな画像を構築
  • ステージ座標を参照し、画像を簡単にナビゲート
  • 異なるフィルタ処理と表示モードにより、隠れた情報を解除
  • 3次元画像を回転させながらさまざまな角度から画像を映し出して試料を詳細に観察
  • システムパラメータを使用して、画像のプロパティにアクセス
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