ZEISS SmartSEM
SEM、FE-SEM、FIB-SEM用ソフトウェアソリューション
SmartSEMはフル制御可能な操作パラメータで、ソフトウェア制御のレベルを設定可能。また、使用頻度が低い場合にそなえて、操作の簡便性と生産性向上のために、主要な制御機能を一本のコントロールバーにまとめた簡潔な GUI を備えています。
追加モジュールで、いつでも簡単に画像の取得、処理、解析、記録等の機能を拡張できます。
Highlights
SmartSEM
- 画像取得中または保存してある画像上で、さまざまなシグナルの処理が可能
- 注釈および測定能力をフルに活用
- 将来的に再度読み込みを行うために、いつでも操作条件を保存
- 250種類以上もの装置制御機能にアクセスできる Macro-Editor
- 包括的なステージ制御からの大きなメリット
SmartPI
- SmartPI モジュールの使用で、粒度、形状、形態、元素組成を半自動的に定量化、分類、測定
- 操作、コンフィギュレーション、レポートの用途に合わせて、異なるモード間の切り替えが容易
- Production mode: SmartPI が自動で操作条件を設定し、選択した分析ルーチンに従って測定を開始
- Configuration mode: SEM 設定から粒子の分類、レポートまで、関連する項目を簡単に設定
- Report mode: シングルフレームで異常調査も有する対話式解析をレポートやプロセスデータを作成、実行
SmartBrowse
- 異なる倍率で多くの検出器から獲得した画像を組み合わせて、試料と照らし合わせて大きな画像を構築
- ステージ座標を参照し、画像を簡単にナビゲート
- 異なるフィルタ処理と表示モードにより、隠れた情報を解除
- 3次元画像を回転させながら、さまざまな角度から画像を映し出して試料を詳細に観察
- システムパラメータを使用して、画像のプロパティにアクセス