マルチイオンビーム顕微鏡

10nm以下のナノ構造用の3-in-1マルチビーム集束イオン顕微鏡
ORION NanoFabは、単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。