ZEISS ORION NanoFab

10nm以下のナノ構造用の3-in-1マルチビームイオン顕微鏡

ORION NanoFab Helium Ion Microscope

10nm以下のサイズ対象のアプリケーション用イオンビーム顕微鏡

10nm以下のナノ構造を素早く正確に加工

ORION NanoFabはガリウム、ネオン、ヘリウムのビームをシームレスに切り替えます。

  • ネオンビームはナノ構造を最大速度で加工する場合に使用し、ハイスループットを実現
  • ヘリウムビームは10nm以下の微細構造を作成する場合に使用
  • オプションのガリウムFIBは大規模加工する場合に使用

 ORION NanoFabは、単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。

Highlights

  • 10nm以下の構造を高速加工

ネオンとヘリウムのイオンビームを使用して、極めて高い加工精度が要求される10ナノメートル以下の微細構造を作成します。スパッタリングを使用した材料除去、ガス導入エッチング、蒸着、リソグラフィのいずれのアプリケーションでも、ORION NanoFabは10nm以下の加工を高速かつ容易に実行します。

  • 1台のシステムに3種類のビーム

ガリウムFIBは大規模加工に使用します。ネオンビームは精密な高速ナノ加工に利用します。ヘリウムビームは10nm以下の微細構造の加工に使用します。ネオンおよびヘリウムのイオンビームを使用すると、リデポによる汚染を防ぐことができます。

  • 高解像イメージング

ORION NanoFabは0.5nmのイメージング分解能を持ち、加工に使用したものと同じ機器で試料の高解像イメージを生成できます。FE-SEMで取得したイメージと比べて5~10倍の焦点深度を持つイメージにより、新たな観察力を得ることができます。

Nanopatterning

Orion NanoFabはNanoPatterningおよびVisualization Engine(ハードウェアとソフトウェアが統合された制御システム)を搭載しています。NVPEは、NanoFabカラムごとに専用の16ビットスキャンジェネレータと、高度なリアルタイムのパターニングおよび可視化をサポートするデュアル信号収集ハードウェアを搭載しています。GUIによりビームを完全に制御:長方形、台形、多角形、直線、ポリライン、楕円、スポットなどの編集可能な形状を作成します。線量の変化とパターニングパラメータを完全に制御しながら、これらの形状をベクトルで埋めます。

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Multiple ion beam microscopy for advanced nanofabrication

Explore the brand new technology of multiple ion beam microscopy, from the science to the first emerging results.

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What our customers say

"The Orion Helium Ion Microscope is a unique platform for our research and technology activities in instrument development for nano-analytics, leading to exciting capabilities for cutting edge nano-imaging, nano-analysis and correlative microscopy."

Tom Wirtz Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) Belvaux, Luxembourg May 7, 2015

Downloads

ZEISS ORION NanoFab

3種のイオンビームによる10nm以下の加工を実現on

ページs: 16
ファイルサイズ: 13905 kB

White Paper: Advancing Oil and Gas Exploration with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 2807 kB

White Paper: Deposition of Conducting Features with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 1780 kB

White Paper: Fabrication of Solid-State Nanopores for Biomolecule Detection with ORION NanoFab

ページs: 7
ファイルサイズ: 2159 kB

White Paper: Graphene Nano-Ribbon Patterning with ORION®NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 800 kB

White Paper: Helium and Neon Ion Beam Lithography with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 3587 kB

White Paper: Nano-Pore Milling with ORION® NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 3733 kB

White Paper: ORION NanoFab - Plasmonic Devices Fabricated with Helium Ion Microscopy

ページs: 5
ファイルサイズ: 2477 kB

White Paper: ORION NanoFab: An Overview of Applications

ページs: 6
ファイルサイズ: 1424 kB

White Paper: Sub-10 nm Nano-machining with Multiple Ion Beams

for High Precision and High Throughput Applications

ページs: 5
ファイルサイズ: 1922 kB

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