ORION NanoFab

ORION NanoFab

10nm以下のサイズ対象のアプリケーション用イオンビーム顕微鏡

ORION NanoFab

10nm以下のナノ構造用の3-in-1マルチビームイオン顕微鏡

 

10nm以下のナノ構造を素早く正確に加工します。ORION NanoFabはガリウム、ネオン、ヘリウムのビームをシームレスに切り替えます。

  • ネオンビームはナノ構造を最大速度で加工する場合に使用し、ハイスループットを実現
  • ヘリウムビームは10nm以下の微細構造を作成する場合に使用
  • オプションのガリウムFIBは大規模加工する場合に使用


ORION NanoFabは、単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。

特長

  • 10nm以下の構造を高速加工
    ネオンとヘリウムのイオンビームを使用して、極めて高い加工精度が要求される10ナノメートル以下の微細構造を作成します。スパッタリングを使用した材料除去、ガス導入エッチング、蒸着、リソグラフィのいずれのアプリケーションでも、ORION NanoFabは10nm以下の加工を高速かつ容易に実行します。
 
  • 1台のシステムに3種類のビーム
    ガリウムFIBは大規模加工に使用します。ネオンビームは精密な高速ナノ加工に利用します。ヘリウムビームは10nm以下の微細構造の加工に使用します。ネオンおよびヘリウムのイオンビームを使用すると、リデポによる汚染を防ぐことができます。
 
  • 高解像イメージング
    ORION NanoFabは0.5nmのイメージング分解能を持ち、加工に使用したものと同じ機器で試料の高解像イメージを生成できます。FE-SEMで取得したイメージと比べて5~10倍の焦点深度を持つイメージにより、新たな観察力を得ることができます。

Nanopatterning

Orion NanoFabはNanoPatterningおよびVisualization Engine(ハードウェアとソフトウェアが統合された制御システム)を搭載しています。

NVPEは、NanoFabカラムごとに専用の16ビットスキャンジェネレータと、高度なリアルタイムのパターニングおよび可視化をサポートするデュアル信号収集ハードウェアを搭載しています。

GUIによりビームを完全に制御:長方形、台形、多角形、直線、ポリライン、楕円、スポットなどの編集可能な形状を作成します。線量の変化とパターニングパラメータを完全に制御しながら、これらの形状をベクトルで埋めます。

Downloads

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ZEISS ORION NanoFab

3種のイオンビームによる10nm以下の加工を実現on

ページs: 16
ファイルサイズ: 13905 kB

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White Paper: Advancing Oil and Gas Exploration with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 2807 kB

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White Paper: Deposition of Conducting Features with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 1780 kB

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White Paper: Fabrication of Solid-State Nanopores for Biomolecule Detection with ORION NanoFab

ページs: 7
ファイルサイズ: 2159 kB

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White Paper: Graphene Nano-Ribbon Patterning with ORION®NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 800 kB

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White Paper: Helium and Neon Ion Beam Lithography with ORION NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 3587 kB

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White Paper: Nano-Pore Milling with ORION® NanoFab

ページs: 6
ファイルサイズ: 3733 kB

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White Paper: ORION NanoFab - Plasmonic Devices Fabricated with Helium Ion Microscopy

ページs: 5
ファイルサイズ: 2477 kB

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White Paper: ORION NanoFab: An Overview of Applications

ページs: 6
ファイルサイズ: 1424 kB

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White Paper: Sub-10 nm Nano-machining with Multiple Ion Beams

for High Precision and High Throughput Applications

ページs: 5
ファイルサイズ: 1922 kB

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Application Note:

Benefits of ZEISS ORION NanoFab for High Resolution Imaging

ページs: 9
ファイルサイズ: 3786 kB

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Application Note: ZEISS ORION NanoFab

Rapid Fabrication of Nanopores with Helium Ion Beam and Automation Over a Wafer Size

ページs: 7
ファイルサイズ: 3521 kB

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Application Note: ZEISS ORION NanoFab

Imaging Polymers with a Helium Beam

ページs: 5
ファイルサイズ: 1501 kB

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Application Note: ZEISS ORION NanoFab

Use gallium and neon ion beams in sample preparation for transmission electron microscope (TEM) investigations combined with ZEISS Orion NanoFab sotware for automated routines and reduced effects of the damage.

ページs: 7
ファイルサイズ: 6599 kB