電子顕微鏡・イオン顕微鏡

走査型電子顕微鏡(SEM)は、集束電子ビームで試料をスキャンし、試料のトポグラフィーと組成に関する情報をもつ画像を得られます。
ZEISSのCSEM(conventional SEMs with a thermic electron source)およびFE‐SEM(field emission SEMs with a field emission electron source)は、高分解能画像および優れたコントラストをもたらします。

• 高解像度の表面感度情報とコントラスト
  
• ナノテクノロジー、材料研究、ライフサイエンス、半導体、原材料、産業などに幅広く利用されています
  

ナノトモグラフィーおよびナノファブリケーションへの応用を加速します。
ZEISS FIB-SEMは生命科学および産業における、材料のナノスケールでの加工および試料作製に最適です。

• 3Dイメージング、分析、材料加工を融合
• サンプル作成の際は、次世代FIBが有益に
• リアルタイムのインタラクション、イメージングとミリングを同時に実行
  

ORION NanoFab Helium Ion Microscope
単一の機器に統合されたガリウム、ネオン、およびヘリウムのイオンビームを使用して、マイクロ加工からナノ加工のアプリケーションを完全にカバーする、世界で唯一のシステムです。

• サブnmの分解能、加工に使用したものと同じ機器で試料の高解像イメージを生成
• 10nm以下のナノ構造を素早く正確に加工
• ガリウム、ネオン、ヘリウムのビームをシームレスに切り替え