- Home
- 電子顕微鏡・イオン顕微鏡
- Sigma
ZEISS Sigma
高度なイメージングと解析を実現するFE-SEM
ZEISS Sigmaファミリーは、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)のテクノロジーと優れたユーザーエクスペリエンスを兼ね備えています。イメージングと解析ルーチンを構造化することで生産性が向上し、新しい材料、品質検査用の粒子試料、生物・地質試料などの観察に活用できます。妥協のない高分解能イメージングにより、1 kV以下の低電圧でも高い解像度とコントラストを達成します。さらに、クラス最高のEDSジオメトリを使用して高度な解析を実行し、より正確な解析データを二倍の速さで取得することができます。
Sigmaファミリーは、ユーザーをハイエンドなナノ解析の世界へと導きます。
- Sigma 360は、直感的な操作でイメージングと解析ができるFE-SEMとしてコアファシリティに選ばれています。
- Sigma 560は、クラス最高のEDSジオメトリによりハイスループット解析を実現し、in situ実験の自動化も可能にします。
特長

Sigma 360
コアファシリティとして選ばれる直感的なイメージング
- セットアップからAIによる結果取得まで、専用のガイドに従って操作するだけです。直感的なイメージングワークフローをご体験ください。
- 1 kV以下でも優れた解像度と最適なコントラストを実現します。
- VPイメージングでは、非導電体の非常に困難な試料でも優れた結果が得られます。

Sigma 560
ハイスループット解析とin situ実験の自動化
- 試料を効率的に解析:スピードと汎用性を兼ね備えた解析が可能です。
- in situ実験の自動化:無人検査のための完全統合型ラボを実現します。
- 1 kV以下のイメージングが困難な試料にも対応:包括的な試料情報を収集できます。
テクノロジー

Gemini 1光学系
- Gemini 1の光学系は、対物レンズ、ビームブースター、Inlens検出コンセプトの3つの要素で構成されています。対物レンズの設計には静電場と磁場が組み合わせられており、磁場が試料に与える影響を最小限に抑えながら、光学性能を最大限に高めます。
- これにより、磁性材料のように困難な試料であっても優れたイメージングが可能となります。Inlensは、二次電子(SE)や反射電子(BSE)を検出することにより、イメージング時間を最大限短縮しつつ、効率的なシグナル検出を実現することをコンセプトにしています。
- ビームブースターテクノロジーが小さなプローブサイズと高いSN比を保証します。

柔軟な検出機能でクリアな画像を取得
- 様々な検出器を搭載したSigmaでは、最新の検出テクノロジーにより、あらゆる試料の特性評価が可能です。
- ETSEと高真空モード用のInlens検出器が、高分解能のトポグラフィー取得をサポートします。
- 低真空モードでVPSEやC2D検出器を使用することで、鮮明な画像を取得できます。
- aSTEM検出器では高分解能の透過画像を生成可能です。
- 様々なオプションが揃ったBSE検出器(aBSD検出器など)で組成やトポグラフィーを観察できます。


Standard VPモード(左)とNanoVP liteモード(右)、ガスの分布(ピンク)、電子ビームのスカート(緑)。
NanoVP liteモード
NanoVP liteモードを使用して解析やイメージングを行えば、低真空モードでの画質が向上し、正確な解析データをより速く取得できます。
- NanoVP liteモードでは、スカート効果が低減され、ビームガスの光路長(BGPL)が短くなります。スカートを抑えることで、SEおよびBSEイメージングにおけるSN比が向上します。
- 5つの環状セグメントを持つ格納式のaBSDは、優れた材料コントラストを実現します。ビームスリーブを搭載しており、NanoVP liteモードでの操作時はポールピースの下に設置されます。ハイスループットと低電圧での組成・トポグラフィーコントラストイメージングを実現し、VPやHV(高真空)に適しています。
アプリケーション
材料科学






生命科学




地球科学および天然資源





工業アプリケーション



アクセサリ
SmartEDX
組み込み式エネルギー分散型X線分析

- 検出器の保護ウィンドウが窒化ケイ素で優れた透過率を持つため、日常的な微量解析アプリケーションや、軽元素から発生する低エネルギーのX線検出のための最適化が可能
- ワークフローをガイドするグラフィカルなユーザーインターフェースにより、複数のユーザーがいる環境での使いやすさと再現性が向上
- ZEISSのエンジニアによるトータルサービスとシステムサポートが、インストール、予防保全、保証をワンストップで提供
ラマンイメージングと走査型電子顕微鏡
完全統合型RISEのメリットを活用

- 分子・結晶の情報を認識
- ラマンマッピングとEDSデータを使用して、3D解析およびSEMイメージングとの相関が可能
- 完全統合型RISEにより、クラス最高のSEMおよびラマンシステムの両方を活用

ZEISS FE-SEMのIn Situラボで材料性能を微細構造に紐付け
統合ソリューションのメリット
材料開発において、材料性能を微細構造に紐付ける必要がある場合は、ZEISSの自動化されたin situ加熱・引張実験ラボをご利用ください。これにより、応力・ひずみ曲線をその場でプロットしながら、熱が加えられ張力がかかっている材料を自動的に観察できます。また、ZEISSのFE-SEM(電界放出型走査電子顕微鏡)に加熱・引張実験用のin situソリューションを追加することもでき、金属、合金、ポリマー、プラスチック、複合材料、セラミックスなどの材料を観察可能です。
さらに、機械的引張または圧縮ステージ、加熱ユニット、専用高温二次電子検出器(SE)、および反射電子検出器(BSE)を、EDSやEBSDによる解析と組み合わせることができます。ZEISS Gemini電子光学系の設計により、in situハードウェアの統合は非常に簡単です。統一されたソフトウェア環境が無人自動材料試験を可能にし、1台のパソコンからすべてのシステムを制御できます。自動特徴追跡機能は、複数の関心領域を定義しつつ、EDSやEBSDマッピングなどの自動連続イメージングと解析における新たな標準を確立します。
メリット:
- 取得中のシステム監視は不要、簡単・迅速な実験セットアップ
- 自動化されたin situワークフローが、オペレーターによるばらつきのない、正確かつ再現性、信頼性の高いデータ収集を実現
- 高分解能・ハイスループットのデータ取得により、統計的に代表性の高い結果を素早く提供
- GOMのデジタル画像相関法(DIC)を使用したひずみマッピングなど、信頼性の高い後処理のための高画質データを提供
- 容易なデータ管理

ソフトウェア

ZEISS SmartSEM Touch - 目標の実現をさらにサポート
SmartSEM Touchをアドオンとして従来のオペレーションシステムに追加することで、複数のユーザーがいる環境に対応したシンプルなユーザーインターフェースが利用できます。経験豊富なユーザーはもちろん、初心者の方にも使いやすい優れた操作性を備えています。実際のラボ環境によっては、SEMの操作は専門の電子顕微鏡技師の独占領域となってしまうことがあります。しかし、学生、研修生、品質エンジニアなど、専門家以外のユーザーがSEMからデータを取得する必要も多々あることから、この状況が課題となっています。これを受け、Sigma 300およびSigma 300 VPには、経験豊富な顕微鏡技師だけでなく、専門家以外のユーザーの操作上のニーズに応えるユーザーインターフェースオプションを搭載しました。

ZEISS Atlas 5 – マルチスケールにおける課題を克服
Atlas 5では、試料重視の相関環境で広範なマルチスケール、マルチモーダル画像を作成し、実験を容易化することができます。パワフルかつ直感的なハードウェアとソフトウェアを備えたパッケージが、ZEISS走査型電子顕微鏡(SEM)の能力を拡張します。

3Dサーフェスモデリング – 3DSM
走査型電子顕微鏡は、あらゆる種類の試料を2Dで測定・解析します。試料表面の3D解析には、ZEISSのオプションソフトウェア3DSMを使用可能です。反射電子検出器のシグナルによって試料表面の完全な3Dモデルを再構築し、トポグラフィー情報を取得できます。

ビジュアライゼーションおよび解析ソフトウェア
ZEISS推奨:Object Research Systems(ORS)社 Dragonfly Pro
ORS Dragonfly Proは、X線、FIB-SEM、SEMおよびヘリウムイオン顕微鏡などの様々な技術を用いて取得した3Dデータに対し、高度な解析およびビジュアライゼーションを行えるソフトウェアソリューションです。
大型3Dグレースケールデータの可視化・解析に対応する、直感的で完全かつカスタム可能なツールキットで、ZEISSが独占的に提供しています。Dragonfly Proでは、3Dデータのナビゲーション、注釈機能、ビデオ制作などのメディアファイル作成が可能です。画像処理、セグメンテーション、オブジェクト解析により、結果を定量化することができます。

ZEISS Mineralogic - 自動鉱物検査
ZEISS SEM、XRM、microCTシステムを使用した、2D・3Dの鉱物相識別とテクスチャ解析。
ダウンロード
3D Imaging Systems
Your Guide to the Widest Selection of Optical Sectioning, Electron Microscopy and X-ray Microscopy Techniques.
ページ: 68
ファイルサイズ: 5952 kB
ZEISS Sigma 300 with RISE
Extend your ZEISS Sigma 300 with Fully Integrated Raman Imaging and Scanning Electron Microscopy (RISE)
ページ: 2
ファイルサイズ: 2075 kB
ZEISS Sigma Family
Your Field Emission SEMs for High Quality Imaging and Advanced Analytical Microscopy
ページ: 37
ファイルサイズ: 11041 kB
ZEISS SmartEDX
The ZEISS Embedded EDS Solution for Your Routine SEM Microanalysis Applications
ページ: 10
ファイルサイズ: 2160 kB
工業用セラミックス研究のためのZEISS顕微鏡ソリューション
先端セラミックス設計のための2D、3D、4Dソリューション
ページ: 19
ファイルサイズ: 1546 kB
ZEISS FE-SEM用in situラボ
材料の性能を微細構造と関連付ける
ページ: 5
ファイルサイズ: 4300 kB
ZEISS Sigma Family - Flyer
Your FE-SEMs for High Quality Imaging & Advanced Analytical Microscopy
ページ: 2
ファイルサイズ: 2146 kB
Large Volume Imaging of Eye Muscle by SIGMA VP and 3View
Serial Block Face Imaging
ページ: 8
ファイルサイズ: 1983 kB
ZEISS Sigma 300 with WITec Confocal Raman Imaging
Characterizing Structural and Electronic Properties of 2D Materials Using RISE Correlative Microscopy
ページ: 10
ファイルサイズ: 6581 kB
Voltage Contrast in Microelectronic Engineering
ページ: 6
ファイルサイズ: 1748 kB
検索結果1 - 10の17
