非破壊三次元X線顕微鏡

ZEISS Xradia 520 Versa

Unlocking Crystallographic Information in Your Lab

With ZEISS Xradia 520 Versa you extend the limits of your exploration.

ZEISS Xradia 520 Versaは業界随一の分解能とコントラストにより非破壊3Dイメージングの限界をくつがえし、新たな科学的発見に貢献します。

柔軟性の高いシステム設計により幅広い用途に対応し、革新的な高コントラストと高解像度を実現した検出器が、これまで決して見ることができなかったものを自由にイメージングすることができるようになりました。

Benefits in Xradia 520 Versa

A defective TSV (through-silicon-via, a high performance interconnection in a silicon wafer)

A defective TSV (through-silicon-via, a high performance interconnection in a silicon wafer)

A defective TSV (through-silicon-via, a high performance interconnection in a silicon wafer)
Defective TSV. High resolution, non-destructive imaging of intact package
Using Scout-and-Zoom to identify region of interest, zoom to clear view of suspected defect. Courtesy of ST Crolles

Experience Resolution Beyond Micro-CT

Xradia Versaソリューションは、従来のマイクロ・ナノCTシステムの常識を覆す0.7μmの空間分解能と最少ボクセルサイズ70nmを達成しました。

従来のトモグラフィシステムが幾何拡大率に依存するのに対して、Xradia 520 Versaは独自の方式を採用し、多種多様な研究対象とサイズにおいても、その使いやすさや高い分解能及び高コントラストを実感するでしょう。

同じ試料においても、画期的な”Resolution at a Distance”(RaaD)が可能としたマルチスケールによるさまざまな倍率でのイメージングが可能です。

A virtual cross section through a mouse knee data set

A virtual cross section through a mouse knee data set

A virtual cross section through a mouse knee data set
A virtual cross section through a mouse knee data set
Showing strong absorption contrast even between multiple low density materials

Enhance Your Images with Advanced Contrast Techniques

業界トップのサブミクロンX線イメージングソリューションを統合し、Xradia 520 Versaは前例のないコントラストを実現します。

さらにXradiaのシンクロトロン光学技術を基礎とした革新的なトモグラフィー撮影技術が、より高精度な撮影を可能としました。

Dual Scan Contrast Visualizer (DSCoVer)、High Aspect Ratioトモグラフィ(HART)などの特殊撮影技術によって、比類なき汎用性をもってさまざまな研究対象に柔軟に対応します。

In situ compression of a metal foam

In situ compression of a metal foam

In situ compression of a metal foam
In situ compression of a metal foam

Characterize Materials in situ and in 4D

非破壊X線顕微鏡による時間(4D)イメージングはもちろん、微細構造のIn-situ イメージングが可能です。

幅広いサイズの高精度In-situ チャンバを利用しつつ、サブミクロンの解像度を維持することができます。In-situ キットは、操作を簡単にして結果をより速く導きだします。

The Technology Behind X-ray Optics

Discover the magnification concept

Discover the magnification concept

Discover the magnification concept
Discover the magnification concept
The microscope uses a combination of geometric and optical magnification to produce a high resolution image of the sample. With this, the system produces Resolution at a Distance (RaaD)

Xradia Versaは独自のResolution at a Distance(RaaD)を実現する拡大技術を使用しています。従来のマイクロCTでは幾何学倍率を上げることでイメージの拡大をします。

X線をシンチレータで可視光に変換し、これをさらに光学的に拡大します。幾何学的拡大と光学的拡大を組み合わせることで、Xradia Versaソリューションは長作動距離とサブミクロン分解能を両立させます。

これらの技術が、In-situ チャンバを含む幅広いサイズの試料を効果的に解析することを可能にします。

 

Highlights

Optimize contrast for maximum discernibility

Optimize contrast for maximum discernibility

Optimize contrast for maximum discernibility
Optimize contrast for maximum discernibility
Segmentation of Al particles using the 2D histogram. DSCoVer results of combined low energy (LE) and high energy (HE) XRM datasets.

Dual Scan Contrast Visualizer (DSCoVer)

革新的なDual Scan Contrast Visualizer(DSCoVer)により、通常は識別困難な組成を見極めることができます。異なるX線スペクトルによりイメージングを行い、データセットを最適化します。

DSCoVerは、材料ごとに異なるX線の減衰率がX線の管電圧により変化することを利用します。シリコンやアルミのような識別困難な材料だけでなく、岩石中の鉱物学的な違いを識別するために役立ちます。

Gain better image quality in less scan time

Gain better image quality in less scan time

Gain better image quality in less scan time
Gain better image quality in less scan time:
64 Gb Flash Chip acquired using HART

High-Aspect Ratio Tomography (HART)

Xradia 520 Versaは革新的High Aspect Ratio Tomography(HART)により、半導体基板やボードのような平坦なサンプルのハイスループットイメージングを可能にしました。

HARTでは、平らで広い面は投影角を粗く、狭い面は投影角を細かく設定するなど、サンプルに合わせて適切に設定することができます。

さらに、HARTは最大2倍のスピードまで加速し、ハイスループット、高画質イメージを提供します。

この高速収集モードは、強力なデュアルGPUワークステーションに加え、最大40%まで画像再構成時間を加速することができます。

The Automated Filter Changer offers 12 standard filters

The Automated Filter Changer offers 12 standard filters

The Automated Filter Changer offers 12 standard filters
The Automated Filter Changer offers 12 standard filters
With room for 12 more custom filters.

Automated Filter Changer (AFC)

Automatic Filter Changer(AFC)はDSCoVerやIn-situ アプリケーションのように簡単に使える機能の一つです。

Xradia 520 Versaは標準12枚のフィルタセットに加え、さらに12枚のフィルタセットオプションが搭載可能で、X線のスペクトルを柔軟にチューニングできます。AFCオプションは用途に合わせ異なる材質、厚みのフィルタを適用することによりカスタマイズできます。

AFCに搭載されたフィルタはScout-and-Scan Control Systemでレシピをプログラミングし、登録することが可能。また、フィルタを必要としない場合、試料をより線源に近づけてスループットを確保することができます。

Flexibly Image Larger Samples

Flexibly Image Larger Samples

Flexibly Image Larger Samples
Flexibly Image Larger Samples:
Such as this 6 inch stereo speaker.

Wide Field Mode (WFM) & Vertical Stitching

Wide Field Modeは、標準のFOVと同様の解像度を維持しながら水平方向のFOVの拡大を可能にします。

より大きな試料に対しては、水平方向に標準モードの2倍のFOVと、3倍以上の3Dボリュームで撮影範囲を拡大し、また標準のFOVでも、WFMを利用して約2倍のボクセル数のイメージングを提供します。

Xradia 520 Versaでは0.4xと4x対物レンズでのイメージングに対応。垂直スティッチング機能(上下方向のトモグラフィイメージを張り合わせる機能)とWFMを組み合わせることにより、さらに広範囲のイメージングが可能になります。

 

 

Accessories

Laboratory-based Diffraction Contrast (LabDCT)

Unlock crystallographic information in your lab. Achieve direct visualization of 3D crystallographic grain orientation in a non-destructive tomography environment with the LabDCT advanced imaging module powered with GrainMapper3D software by Xnovo Technology. Diffraction contrast tomography (DCT), previously available only at a limited number of synchrotron X-ray facilities, can become your routine tool for non-destructive 3D grain mapping.

Acquire and reconstruct crystallographic information from polycrystalline samples, such as metals and alloys. Combine grain orientation information with microstructural features observed in absorption or phase contrast tomography, e.g. cracks, porosity network, inclusions. Open new possibilities for the characterization of damage, deformation and growth mechanisms related to 3D materials science. Achieve enhanced understanding of the fundamental materials science behind these processes with microscopic imaging features in three dimensions.

Flat Panel Extension (FPX)

FPX let you rapidly scout your sample and zoom to regions of interest at high resolution

FPX let you rapidly scout your sample and zoom to regions of interest at high resolution

Image even larger samples with high throughput at ZEISS best-in-class image quality. Enhance imaging flexibility and create workflow efficiencies with FPX for industrial and academic research. Rapidly scout large samples to identify a region of interest (ROI). Zoom to image targeted volumes at high resolution. FPX extends the Scout-and-Zoom workflow of Xradia520 Versa. Image the full field of view of samples beyond a 5 inch diameter, like geological cores or intact smartphones, with higher throughput. Combine FPX with Resolution at a Distance (RaaD) and benefit further from high resolution imaging for a variety of samples.

AUTOLOADER

Autoloader option enables you to program up to 14 samples at a time to run sequentially

Autoloader option enables you to program up to 14 samples at a time to run sequentially

Autoloader option enables you to program up to 14 samples at a time to run sequentially
Autoloader option enables you to program up to 14 samples at a time to run sequentially

Increase your sample handling efficiency: with the Autoloader you can set-up queues of imaging jobs across a shift or over a weekend. Receive automatic notification of job completion. Achieve precise and repeatable sample measurements. Benefit from flexibly handling diverse sample types in the same queue. Minimize user interaction in you research or industrial laboratory, industrial process development, service laboratory, or university central imaging laboratory.

Software

Use Our Super Simple Control System to Create Efficient Workflows

All of the features introduced by the Xradia 520 Versa are seamlessly integrated within the Scout-and-Scan Control System, an efficient workflow environment that allows you to easily scout a region of interest and specify scanning parameters. The easy-to-use system is ideal for a central lab-type setting where your users may have a wide variety of experience levels. The interface maintains the flexibility for which Xradia Versa systems are well-regarded, enabling you to set-up scans even more easily. Scout-and-Scan software also offers recipe-based repeatability, which is especially useful for your in situ and 4D research, and enables you to have greater control and efficiency for future work.

 

New on Version 11:

  • Automated Vertical Stitching capability sets a new industry standard for imaging tall samples at the push of a button. Combine Wide Field Mode with Vertical Stitching to join separate tomographies into a large seamless image, significantly expanding your field of view for samples that are both wider and taller.
  • New Auto Reference provides you with the ability to move in the Z+ or Z- directions as well as the existing X and Y directions, ideal for imaging high aspect ratio samples such as PC boards.
  • Adaptive Motion Compensation is a new method to compensate for sample drift that may during the course of a tomography, such as with soft samples.
  • The new Reconstructor Scout-and-Scan application pairs with the versatile Automatic Reconstructor to provide added flexibility for data reconstruction.
  • Incorporate color palette and log scaling for better data visualization using the new Enhanced Histogram capability.
  • Dual Scan Contrast Visualizer, DSCoVer, on Xradia 520 Versa has been updated with our newly patented dual energy interface to give you precise segmentation of different material types, or different materials with similar densities, with the improved dual energy interface.
     
Visualization and Analysis Software

可視化および解析ソフトウェア

ZEISS は Object Research Systems (ORS) の Dragonfly Pro をお奨めします。

X-線、FIBーSEM、SEM、ヘリウムイオン顕微鏡など、様々なテクノロジーで取得された3Dデータのための高度な解析と視覚化を行うソフトウェアです。
Visual SI Advanced の後継となる Dragonfly Pro は高品質の視覚化テクニックと優れたグラフィックを提供します。使い易い Python のスクリプトにより Dragonfly Pro はカスタマイズ可能です。 3Dデータの処理とワークフローをトータルでコントロールできるようになります。

詳しくはこちら

 

Applications

ZEISS Xradia 520 Versaについてのお問い合わせは こちら

 

Downloads

ZEISS Xradia 520 Versa

Submicron X-ray Imaging: Extending the Limits of Your Exploration

ページ: 25
ファイルサイズ: 8.948 kB

ZEISS Xradia Versa Family

Your 3D X-ray Microscope for Advanced Discovery

ページ: 2
ファイルサイズ: 1.608 kB

Overview

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