マイクロエレクトロニクス ・マイクロマシン

ソリューション

マイクロエレクトロニクス ・マイクロマシン

観察 – 解析 – 識別

マイクロエレクトロニクスとマイクロマシン産業では、製品の特長を観察し、解析し、識別しなければなりません。 プロセス管理や故障解析でも、同じことが言えます。 プロセスを理解しようとする際に欠かせないのが、デバイスの物理構造に関する知識です。 マイクロエレクトロニクスやマイクロマシン(MEMS)の設計が発展できるかどうかは、顕微鏡の効率性にかかっています。 隙間、空隙、接触といったたくさんの機能的特徴を調査することができます。 微小な機械装置を作成する上で、光学顕微鏡はプロトタイプの評価ツールや、精密機械加工の結果監視ツールとして役立ちます。

品質管理 – 常に正確なツール

製造において3D画像化技術を利用することによって、とりわけ効率的に様々な局面で品質管理を行うことができます。 共焦点レーザスキャン顕微鏡を活用して、溶接点やはんだづけ点などの重要な要素をテストしたり、エッチング過程で基盤などの非接触解析を行ったりできます。 一般的な測定パラメータには、粗さ、面積、体積などがあります。
共焦点レーザスキャン顕微鏡は表面の凹凸や、微細構造部品のプロファイルを測定したり、高さや深さといった特徴(高アスペクト比のものも含みます)を定量化したりするのによく利用されます。さらに、表層の構造情報を画像化することもできます。 共焦点レーザスキャン顕微鏡、または断面サンプルと従来の光学顕微鏡技術を使った膜厚の測定も可能です。

ナノレベルになる製品の視覚化

マイクロエレクトロニクスがナノレベルへと進化するにつれて、走査電子顕微鏡で構造を調べたいというニーズが高まっています。 走査電子顕微鏡は、ナノメートル範囲の分解能と深い被写界深度で美しいイメージを提供できるため、正確な回路作成や解析が可能になります。 FIB-SEMを使えば、複雑な構造の回路であっても容易に作成することができます。

マイクロエレクトロニクス・マイクロマシン用推奨製品: