ナノ加工とナノテクノロジー

ナノ世界での設計と製造

ナノ加工とは寸法がナノメートルで測定されるデバイスの設計および製造です。 このような小型構造を作成する必要がある場合、しばしばイオンや電子のような荷電粒子が選択されます。イオンまたは電子のビームと試料の表面の相互作用によって、表面の構造や特性を操作することができます。さまざまなガスと組み合わせて使用することで、エッチングや堆積などの複雑な処理を実行することができます。これによって、機械的、電子的、光学的、磁気的、または流体的な複合機能を持つ優れた新素材およびシステムを作成できます。

ナノ加工、パターニング、および転写

今日および将来のアプリケーションには、電子的、磁気的、光学的、および機械的な特性を改善した材料が必要です。この特性の多くは、サイズが100nm未満の構造および組成によって決定されます。 ZEISSは、ミリメートルからナノメートルの範囲の構造を加工するためのソリューションを提供する唯一のサプライヤーです。 高アスペクト比の 10nm以下の構造の加工 については、  ORION NanoFabマルチイオン顕微鏡を使用します。この技術の利点は、ヘリウムとネオンのイオンビーム転写には近接効果がないことです。近接効果を考慮して線量を変更しなくても、均一なネスティングパターンを作成できます。

ナノフォトニクス、プラズモニクス、およびメタマテリアル

メタマテリアルは、表面の構造を変更することで、光学的特性または磁気的特性が調整された人工材料です。光結晶構造によって光学素子の特性を改善できます。これらは光透過や光学測定に関するすべての製品において有用です。 FIBパターニングソリューションは、このような構造を作成するための強力なパッケージです。ORION NanoFab は、可視光またはより高い周波数範囲で表面または局所的なプラズモン応答を示すプラズモン構造を作成する必要があるアプリケーションに選択します。

グラフェン研究

グラフェンは非常に有望な次世代素材です。特定の形状に加工すると、バンドギャップなどの一定の特性を調整できます。グラフェンは単一原子の厚さの非常にデリケートな素材であり、非常に丁寧に加工する必要があります。ORION NanoFabの丁寧で精密な加工機能を使用すると、10nm以下の複雑なグラフェンデバイスを作成できます。

ナノ粒子

ナノ粒子は触媒作用または現代のナノ材料アプリケーションの分野で非常に重要です。通常の目標は、nm単位またはそれ以下のスケールでサイズ、形状、化学組成、および分布を特性評価することです。最も小さいサイズのナノ粒子の重要な特徴を調査します。ATLAS 3Dを使用すると、最高の解像度で試料を大量に取得できます。これによって、高分子材料マトリックス内で特定のナノ粒子を探して分析することができます。

ナノポア

直径が10nm未満のナノポアは、 さまざまな 分野のアプリケーションで高度なデバイスを実現するために必要です。これには、化学検出、DNA配列決定、生体分子の濾過、生体分子検出、X線ホログラフィが含まれます。ORION NanoFabを使用すると、直径が4nmで、10:1以上の高アスペクト比のナノポアを直接加工できます。

ナノ加工用推奨製品

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