ナノプロービング
デバイス特性評価と欠陥箇所特定のための10シグナルとは？

Greg Johnson は、ZEISS 顕微鏡エレクトロニクス部門に所属するシニア・アプリケーション開発エンジニアであり、IEEE シニアメンバーでもあります。

半導体プロセス開発および、故障解析において20年以上の経験を持つ同氏は、その豊富な知見を現在の職務に活かしています。以前はIBM に在籍し、セラミックパッケージングプロセス開発に従事したほか、複数のテクノロジーノードにわたる FEOL 欠陥の特定を主導し、高度な故障解析手法の開発に携わりました。

ZEISSでは、世界中の故障解析エンジニアと協力し、半導体プロセス開発に向けた SEM、FIB-SEM、および AFM 技術の向上に取り組んでいます。

Dr. Sven Davani 博士は、ZEISS 顕微鏡エレクトロニクス部門のマーケットセクターマネージャーを務めており、最先端の半導体ロジック、メモリ、パッケージングにおける課題解決に向けた SEM および、FIB-SEM 技術を専門としています。

彼は、顧客アプローチを通じて、現在エレクトロニクス業界における技術導入を推進しています。ZEISS 入社前は、イノベーション戦略に関する研究開発コンサルティングに従事し、スタートアップ企業ではプロダクトマネジメントを統括するなど、新技術の市場投入に関する経験を積んできました。

ミュンスター大学で物理学博士号を取得しており、材料科学や顕微鏡法に関する研究成果は、『Acta Materialia』や『Ultramicroscopy』などの学術誌に掲載されています。