日頃、SEM-EDXを材料開発や品質管理に対して高度に活用されているユーザー、更に高いパフォーマンスをお求めの研究者の方々を対象に【JFEテクノリサーチ × ZEISS × Oxford Instruments】3社合同ウェビナーを開催します。

講演では、進化を続ける走査電子顕微鏡(SEM)とその開発の歴史、それに最適化された高感度な新型検出器(EDX)に焦点を当てます。そして、Gemini SEMが実現する「sweet spot imaging」という、画像取得と高感度元素分析を両立する手法によって、従来のSEMでは困難だった観察・分析が可能となっていることをご紹介します。

また、極低加速電圧下での高分解能観察と高感度の最表面元素分析の例、広域かつ迅速分析ニーズにマッチした最新EDX技術の原理と応用についてご説明します。更に、効率的なデータ取得を実現する、画像処理を含む自動化ソリューションの事例もご紹介し、材料開発から品質管理まで、SEM-EDSの新たな可能性を共に探ります。

最先端技術 × 実用事例 × グローバル企業の知見が融合する本ウェビナー。材料解析の新たな可能性を、ぜひこの機会にご体感ください！

ウェビナープログラムは現時点で予定されている情報に基づいております。追加変更等あれば順次アップデートいたします

JFEテクノリサーチ株式会社
八尾

JFEテクノリサーチ株式会社
佐藤 馨

走査電子顕微鏡 (SEM) は今年で誕生から60年を迎えます。その歴史を俯瞰すると、 ①装置の完成：困難であった信号検出の実現、 ②プローブ径最適化：電界放出型電子銃の普及と対物レンズ設計の進歩 ③信号検出最適化：低加速電圧観察の実現と複数の像検出器の実装、という整理が可能です。 ③を牽引し新地平を我々に示したのが Gemini SEMであると言えます。二次電子と反射電子の信号アクセプタンスの最適化（sweet spot imaging）を容易に実現してくれる光学設計により、Gemini SEMは、透過電子顕微鏡や従来のSEMでは見ることができない画像を与えてくれます。像観察の sweet spot 下での微小部分析も実現しました。本講演では paradigm shifterといえる本手法の位置づけと活用法について紹介します。

カールツァイス株式会社
孫 カイイン

近年、非導電性・微細構造サンプルの増加により、低加速電圧でのSEM観察とEDS分析の重要性が高まっています。本講演では、ZEISS独自のGeminiカラム技術を搭載した GeminiSEM シリーズの特長を紹介し、低加速電圧条件下での高分解能イメージングと高精度なEDS分析事例をご紹介します。さらに、ZEISS独自の低真空モード NanoVP についてご紹介します。チャージアップをしやすい試料の低加速高分解能観察・分析に最適な機能です。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
山口 晋

SEMの組成分析を担うEDSは、SDDセンサーの登場によりさまざまな進化が可能になりました。Ultim Extreme Infinity は独特のデザインにより検出感度を最大化し、Tru-Q IQ による高精度な分析を実現します。もうひとつの進化である Unity は、試料に対する自由度が高く、組成情報の分布を短時間にかつ鮮明にとらえることが可能です。本講演では、アプローチの全く異なる２つの最新EDS検出器をご紹介します。

JFEテクノリサーチ株式会社
中村 貴也

低加速電圧でも高感度で検出できる最新検出器 ’Extreme’ を用いると、像観察の sweet spot 下での元素分析が可能となり、同時に極めて高い表面感度・空間分解能が得られます。本講演では、この高い表面感度を活かし、従来EDXでは不可能な、1原子あるいは1分子層の厚みしかない2D材料の分析に挑戦した事例をご紹介いたします。分析条件の最適化、低エネルギーX線の最大活用によって、2D材料の組成、厚み（層数）を評価するとともに、通常EDXでは困難な近接ピークの分離にも成功しました。本手法により、SEM内での2D材料の簡便な評価が実現しました。

JFEテクノリサーチ株式会社
井本 浩史

SEM-EDX は、材料開発から不良解析などで幅広く活用される手法の一つです。本講演では、試料直上に配置した高感度な反射電子 (BSE) 検出器とEDX検出器を一体化した最新装置’Unity’を、実用材料に適用した事例を紹介します。Liイオン二次電池で用いられる活物質粒子の表面コーティング状態や高機能材料における表面処理層の微小欠陥検出等、品質管理上も重要な情報の取得に対し、迅速性・代表性の観点で本手法の優位性をお話しします。

カールツァイス株式会社
風間 大和

近年、分析装置オペレーターの不足や装置の効率稼働への課題から、SEM 観察の自動化に対する需要が高まっています。特に、低加速電圧イメージングに優れた GeminiSEM の自動化はエレクトロニクス分野にとどまらず、材料分野を含む幅広いアプリケーションに対応可能であり、期待される技術の一つとなっています。本講演では、最新のGeminiSEM 自動化ソフトウェアを活用し、効率的なデータ取得を実現した事例についてご紹介いたします。

JFEテクノリサーチ株式会社
山田