ZEISS Smartproof 5

高速・高精細表面形状解析システム

ZEISS Smartproof 5 は、表面解析を素早く、精密に、再現性良く実行するワイドフィールド共焦点顕微鏡システムです。

QA/QC部門、製造現場、R&Dラボで日々発生する、粗さやトポグラフィー解析などの幅広い表面性状の評価に対応します。高性能の共焦点システムを制御する強力なソフトウェア ZEISS Efficient Navigation (ZEN) が、ストレスなく高い生産性で結果を導きます。

Milled aluminum surface, 3D view with texture overlay, C Epiplan-Apochromat 20×/0.7

$Diffractive optics$

Diffractive optics, color coded height map, C Epiplan-Apochromat 10×/0.4

Laser structured surface, 3D view with texture overlay, C Epiplan-Apochromat 50×/0.95

Highlights

信頼できる出力

特許取得済みの相関アパーチャ共焦点テクノロジーがSmartproof 5 が結果を得る時間を最小にし、高分解能とハイスピードを両立
ZEISS 光学系と実績あるパーツにより、幅広いアプリケーションへの効率的な対応が可能
Smartproof 5 は ConfoMap とセット。計測ソフトウェアのゴールドスタンダードである Mountains-Map のZEISS バージョン
国際基準に基づいた解析が簡単にでき、レポートを構築

ガイド付きワークフロー

操作の簡単なシステムと、ソフトウェア内のワークフロールーチンは、Smartproof 5 は生産とプロセスのモニタリングに最適
簡単に作成できるジョブ機能（レシピ機能）とワークフローに基づいたグラフィカルユーザインタフェース（GUI）が繰り返しの作業をガイド
Smartproof 5 は精密で再現性のある結果の基本として、使用者に依存しないデータ取得を保証

一体となった堅牢なデザイン

光学系、電子回路、カメラは、全て顕微鏡に一体化したシステム
堅牢な設計、安定した構造は効果的に振動に耐える

Design

最高の ZEISS 光学系

新しい ZEISS の対物レンズであるCクラスのEpiplan-Apochromatは、ワイドフィールド共焦点システム用に設計されています。これらの高開口数レンズは可視域で最高のパフォーマンスを発揮するだけでなく、ワイドフィールド共焦点画像を取得する405nmに対しても最適化されています。
Smartproof 5 のワイドフィールド共焦点テクノロジーは従来のポイントスキャン方式の共焦点顕微鏡に比べ、高いスループットを実現します。これは Smartproof 5 の検出モジュールに搭載されている相関アパーチャスピニングディスクテクノロジーが可能にしています。また、表面解析における従来の共焦点顕微鏡の利点はそのまま、高さ方向の優れた分解能と水平方向の高分解能を両立しています。

Workflows

ガイド付きワークフローで正確なナビゲーション

Smartproof 5 での試料の向き調整は非常に簡単です。内蔵された ZEN のグラフィカルユーザインタフェースがマクロからミクロまでのワークフローを一貫してサポートします。
全体像から測定箇所を簡単に選ぶことができます。取得したデータは自動的に ConfoMap ソフトウェアに転送され、試料の3D特性を処理、解析することができます。ワークフローは保存する事ができ、同様の微細な3D解析を繰返し行えます。

Output

信頼できる結果

Smartproof 5 の部品は電動化されており、ソフトウェアが各部の状態を常に確認しています。そのため、繰り返し取得するワークフローの設定も簡単。強力な ConfoMap ソフトウェアを使うことで、試料の幾何学的なパラメータの解析も、2D（プロファイル）と3D（範囲）での粗さ解析も可能です。それらの測定パラメータはISOに準拠しています。